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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN118443162A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410923850.2
申请日：2024-07-11
申请人： 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
摘要： 霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置，涉及航天器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的，现有的实时监测霍尔推力器通道壁面侵蚀的方法，只能间接监测通道壁面的侵蚀情况，无法直接观测到壁面的沉积状态的技术问题，本发明提供的技术方案为：方法包括：采集霍尔推力器通道壁面的图像信息的步骤；得到图像信息中各个预设点的温度的步骤；根据各个预设点的温度，得到霍尔推力器通道壁面的热辐射功率的步骤；采集霍尔推力器通道壁面的热传导功率的步骤；根据霍尔推力器通道壁面的热辐射功率和热传导功率，得到霍尔推力器通道壁面因沉积获得的热量的功率的步骤。可以应用于监测霍尔推力器通道壁面的沉积状态。
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公开(公告)号：CN118443162B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410923850.2
申请日：2024-07-11
申请人： 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
摘要： 霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置，涉及航天器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的，现有的实时监测霍尔推力器通道壁面侵蚀的方法，只能间接监测通道壁面的侵蚀情况，无法直接观测到壁面的沉积状态的技术问题，本发明提供的技术方案为：方法包括：采集霍尔推力器通道壁面的图像信息的步骤；得到图像信息中各个预设点的温度的步骤；根据各个预设点的温度，得到霍尔推力器通道壁面的热辐射功率的步骤；采集霍尔推力器通道壁面的热传导功率的步骤；根据霍尔推力器通道壁面的热辐射功率和热传导功率，得到霍尔推力器通道壁面因沉积获得的热量的功率的步骤。可以应用于监测霍尔推力器通道壁面的沉积状态。
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公开(公告)号：CN117457467B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN115900129A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202310017762.1
申请日：2023-01-06
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种低温温度传感器校准的制冷装置，包括低温冷源，冷量分配器、真空绝热系统和柔性冷链，真空绝热系统设置有多层真空腔，低温冷源依次穿过多层真空腔的外层筒体、中层筒体并通过冷量分配器与内层筒体连接；柔性冷链连接冷量分配器和内层筒体的顶端；低温冷源为电制冷机。本发明，采用电制冷机作为主要的制冷源，通过合理设计冷量分配器，抑制了电制冷机冷源的温度波动，同时实现了对冷量的动态分配，与柔性冷链相结合，分配部分冷量直接传导到校准区的上部，实现了恒温器上部和底部同时降温的效果，克服了制冷机处于下部，只能通过热传导由下而上传递冷量，减小了上下的温度梯度，提高了温度均匀度。
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公开(公告)号：CN118129979A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410457443.7
申请日：2024-04-16
申请人： 北京东方计量测试研究所
IPC分类号： G01L27/00
摘要： 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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