一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器

    公开(公告)号:CN111223955B

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN201911050883.6

    申请日:2019-10-31

    摘要: 本发明涉及光电子技术领域,提供了一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器,包括柱状的衬底以及在衬底的顶面沿轴向设置的多个外延层,多个外延层包括吸收层,沿衬底的轴向方向贯穿吸收层开设若干锥形孔;至少在一个锥形孔的外侧壁与吸收层的顶面和/或底面的接触处布置低折射率材料,用于与吸收层形成强耦合波导结构。本发明提供的具有微孔耦合结构的光探测器,通过设置若干锥形孔,减小了吸收层中有源区的面积,降低了充电时间常数,提高了光探测器的响应速率;另外,形成的强耦合波导结构,可以使得进入锥形孔的入射光经其内侧壁折射后进入吸收层,并在吸收层中横向传输,增加了光程,提高了量子效率。

    一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法

    公开(公告)号:CN109873296B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201910234625.7

    申请日:2019-03-26

    IPC分类号: H01S5/183 H01S5/343

    摘要: 本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法,采用相应的第二多层材料膜反射镜层和金属反射镜层构成的组合反射镜作为VCSEL的非出光面(底面)反射镜,并且第二多层材料膜反射镜层的对数少于由第一多层材料膜反射镜层构成的VCSEL的(顶面)出光面反射镜的对数,第二多层材料膜反射镜层的反射率低于第一多层材料膜反射镜层的反射率。采用的上述组合反射镜代替了传统的垂直腔面发射激光器芯片第二包层下面的分布式布拉格反射镜构成的底面反射镜,可以在较少的材料膜反射镜层对数的情况下获得所需的高反射率,同时可以减少相应的材料应力和串联电阻,在减小器件制作工艺难度的情况下提升器件的性能。

    一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器

    公开(公告)号:CN111223955A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201911050883.6

    申请日:2019-10-31

    摘要: 本发明涉及光电子技术领域,提供了一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器,包括柱状的衬底以及在衬底的顶面沿轴向设置的多个外延层,多个外延层包括吸收层,沿衬底的轴向方向贯穿吸收层开设若干锥形孔;至少在一个锥形孔的外侧壁与吸收层的顶面和/或底面的接触处布置低折射率材料,用于与吸收层形成强耦合波导结构。本发明提供的具有微孔耦合结构的光探测器,通过设置若干锥形孔,减小了吸收层中有源区的面积,降低了充电时间常数,提高了光探测器的响应速率;另外,形成的强耦合波导结构,可以使得进入锥形孔的入射光经其内侧壁折射后进入吸收层,并在吸收层中横向传输,增加了光程,提高了量子效率。

    光学滤波器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108535801A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810240360.7

    申请日:2018-03-22

    IPC分类号: G02B5/28

    摘要: 本发明实施例提供了一种光学滤波器,包括:第一反射镜,以及至少包含一第二反射镜的法布里-珀罗谐振腔,第一反射镜的反射率大于第一预设值;第二反射镜的中心波长位于第一反射镜的反射谱中以预设波长为中心的第一预设波长范围内;第一反射镜设置在法布里-珀罗谐振腔内,在第一反射镜的两侧分别设置有光学优化层,光学优化层用于使光学滤波器在反射光谱区内包含预设波长的第二预设波长范围内的反射率小于第二预设值。本发明实施例提供的一种光学滤波器,通过在第一反射镜外嵌套一低Q值法布里-珀罗谐振腔,在第一反射镜的两侧分别设置有光学优化层,可以将一定波长范围内的光通过反射镜的反射和透射分为两部分,实现不同波长的光的分离。

    一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法

    公开(公告)号:CN109873296A

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201910234625.7

    申请日:2019-03-26

    IPC分类号: H01S5/183 H01S5/343

    摘要: 本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法,采用相应的第二多层材料膜反射镜层和金属反射镜层构成的组合反射镜作为VCSEL的非出光面(底面)反射镜,并且第二多层材料膜反射镜层的对数少于由第一多层材料膜反射镜层构成的VCSEL的(顶面)出光面反射镜的对数,第二多层材料膜反射镜层的反射率低于第一多层材料膜反射镜层的反射率。采用的上述组合反射镜代替了传统的垂直腔面发射激光器芯片第二包层下面的分布式布拉格反射镜构成的底面反射镜,可以在较少的材料膜反射镜层对数的情况下获得所需的高反射率,同时可以减少相应的材料应力和串联电阻,在减小器件制作工艺难度的情况下提升器件的性能。