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公开(公告)号：CN110943709A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911052661.8
申请日：2019-10-31
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 本发明公开了一种温度补偿声表滤波器的改善结构及其方法，是在滤波器器件的功能区外围设置补偿环，补偿环不与功能区内的器件结构相连，然后再沉积温度补偿层以及对温度补偿层进行CMP磨平处理。本发明通过绕设于功能区外围的补偿环的设置，将原出现于功能区上方的CMP后温度补偿层的斜坡转移至补偿环上方，确保了功能区内温度补偿层厚度的均匀性，避免了滤波器工作频率偏移的问题，进而改善了温度补偿滤波器特性；且在确保产品性能的前提下降低了CMP工艺对抛光垫及机台能力的需求，减少了设备成本的投入，提高生产效益。
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公开(公告)号：CN111934645A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010814063.6
申请日：2020-08-13
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 一种铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器，涉及合金膜层制备技术领域。该铝铜合金膜层的制备方法包括：获取制备铝铜合金膜层所需的反应基材的消耗量，其中，铝铜合金膜层具有目标膜层厚度和目标膜层面积，且铝铜合金膜层的铝元素和铜元素具有预设质量比；根据反应基材的消耗量对应计算铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，添加计算的铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，以补充反应基材；提供预设反应条件，在基层上制备具有目标膜层厚度和目标膜层面积的铝铜合金膜层，其中，铝铜合金膜层的铝元素和铜元素呈预设质量比。该铝铜合金膜层的制备方法能够提升铝铜合金膜层中元素含量的稳定性，从而改善器件的耐功率性。
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公开(公告)号：CN110943709B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201911052661.8
申请日：2019-10-31
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 本发明公开了一种温度补偿声表滤波器的改善结构及其方法，是在滤波器器件的功能区外围设置补偿环，补偿环不与功能区内的器件结构相连，然后再沉积温度补偿层以及对温度补偿层进行CMP磨平处理。本发明通过绕设于功能区外围的补偿环的设置，将原出现于功能区上方的CMP后温度补偿层的斜坡转移至补偿环上方，确保了功能区内温度补偿层厚度的均匀性，避免了滤波器工作频率偏移的问题，进而改善了温度补偿滤波器特性；且在确保产品性能的前提下降低了CMP工艺对抛光垫及机台能力的需求，减少了设备成本的投入，提高生产效益。
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公开(公告)号：CN110166020B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201910471259.7
申请日：2019-05-31
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
IPC分类号： H03H11/34
摘要： 本申请提供一种滤波器和双工器，所述滤波器包括：谐振器组，设置在晶圆上；可调电感组，设置在介电层中，并连接谐振器组，可调电感组上设置有调整点，用于通过改变调整点的断连调整可调电感组的电感值，使滤波器具有相应的电性匹配度。本申请实现了通过调整可调电感组的电感值，使滤波器具有相应的电性匹配度，以提高滤波器的工作参数稳定性。
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公开(公告)号：CN110277483A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910582822.8
申请日：2019-06-28
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/05
摘要： 本申请提供一种滤波器器件结构及其制备方法，涉及滤波器领域，包括：一衬底；一指插电极，置于衬底之一侧面上；以及一配线层，置于指插电极相对衬底之另一侧面上；其中，利用真空清洗指插电极，在镀膜制程制备配线层时去除指插电极与配线层接触之一侧面的表面氧化层。制备方法包括：获取一衬底材料，对衬底材料进行清洗；在衬底材料上制备指插电极；在指插电极上形成配线层。解决现有技术中，在制备滤波器配线层时，指插电极会氧化生成氧化层，从而导致配线层与指插电极的接触电阻增大的问题。
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公开(公告)号：CN111934645B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202010814063.6
申请日：2020-08-13
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 一种铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器，涉及合金膜层制备技术领域。该铝铜合金膜层的制备方法包括：获取制备铝铜合金膜层所需的反应基材的消耗量，其中，铝铜合金膜层具有目标膜层厚度和目标膜层面积，且铝铜合金膜层的铝元素和铜元素具有预设质量比；根据反应基材的消耗量对应计算铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，添加计算的铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，以补充反应基材；提供预设反应条件，在基层上制备具有目标膜层厚度和目标膜层面积的铝铜合金膜层，其中，铝铜合金膜层的铝元素和铜元素呈预设质量比。该铝铜合金膜层的制备方法能够提升铝铜合金膜层中元素含量的稳定性，从而改善器件的耐功率性。
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公开(公告)号：CN113726302A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110858962.0
申请日：2021-07-28
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 本发明公开了一种声表面波滤波器的叉指换能器的制作方法，通过在衬底背面蒸镀金属Ti形成Ti金属层，然后再在衬底的正面进行IDT制程形成IDT金属层，最后通过湿法刻蚀工艺去除Ti金属层。Ti金属层在IDT制程中不仅可以实现遮光，还具有良好的导热性能，因此可以避免黄光制程的固化过程中晶圆受热不均导致光刻胶形貌不一致，有效改善钽酸锂或铌酸锂晶圆上IDT金属层CD均匀性。并且金属Ti具有较低的热膨胀系数，散热效果好，避免晶圆衬底在黄光制程中由于受热不均产生破裂。相比于镍等其他金属，蚀刻Ti金属层生成的钛络合物不会带来环境污染，Ti金属层的去除操作安全性高。
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公开(公告)号：CN110166020A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910471259.7
申请日：2019-05-31
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
IPC分类号： H03H11/34
摘要： 本申请提供一种滤波器和双工器，所述滤波器包括：谐振器组，设置在晶圆上；可调电感组，设置在介电层中，并连接谐振器组，可调电感组上设置有调整点，用于通过改变调整点的断连调整可调电感组的电感值，使滤波器具有相应的电性匹配度。本申请实现了通过调整可调电感组的电感值，使滤波器具有相应的电性匹配度，以提高滤波器的工作参数稳定性。
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公开(公告)号：CN214655220U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202023014855.X
申请日：2020-12-14
申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
摘要： 一种基板固定装置和溅射镀膜机，包括固定座，其开设有贯通第一表面和第二表面的装配孔，该装配孔的第一表面所在侧设有径向延伸的限位部，装配孔内壁还设有卡槽；还包括有弹性卡环，该弹性卡环外部至少局部嵌于卡槽，弹性卡环内部至少局部外凸于卡槽且与限位部之间构成容纳槽以固定基板，该弹性卡环还设有操作部以被操作使得弹性卡环变形。本实用新型结构简单、体积小、便于安装操作，还能避免对基板挤压，降低破片率。
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