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公开(公告)号:CN115497875A
公开(公告)日:2022-12-20
申请号:CN202210841760.X
申请日:2022-07-18
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/8234 , H01L27/088
Abstract: 一种半导体结构包含从基底延伸且沿第一方向纵向定向的鳍片,其中鳍片包含半导体层堆叠,设置于基底上且沿与第一方向垂直的第二方向纵向定向的隔离部件,其中隔离部件邻近鳍片设置,及具有设置于半导体层堆叠上的顶部及与半导体层堆叠交错的底部的金属栅极结构。再者,金属栅极结构的底部的侧壁由隔离部件的第一侧壁定义,且金属栅极结构的顶部横向延伸至隔离部件的顶面。