公开(公告)号：CN110837208A

公开(公告)日：2020-02-25

申请号：CN201910760764.3

申请日：2019-08-16

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 杨基 ,  林圣达 ,  钟仁阳 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种极紫外辐射源装置，包含腔室且腔室包围极紫外光收集镜。极紫外光收集镜配置以收集以及引导在腔室中产生的极紫外辐射。至少三个排放口配置以从腔室移除残余物。在一些实施例中，排放口对称地排列在垂直于极紫外光收集镜的光轴的平面上。在一些实施例中，三个排放孔中的任二相邻的排放口之间的角度为120度。在一些实施例中，四个排放孔中的任二相邻的排放口之间的角度为90度。在一些实施例中，腔室配置以维持压力在0.1毫巴至10毫巴的范围内。

公开(公告)号：CN109461671A

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201710794556.6

申请日：2017-09-06

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 钟仁阳 ,  谢劼 ,  简上杰 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明部分实施例提供一种标靶燃料产生器及供应标靶燃料的方法。标靶燃料产生器包括一储存组件和喷嘴组件。储存组件具有一流道。标靶燃料产生器还包括一喷嘴组件。喷嘴组件以可旋转于一第一旋转角度与一第二旋转角度的方式连结储存组件。并且，喷嘴组件包括一第一喷嘴头以及一第二喷嘴头。在第一旋转位置上，第一喷嘴头连结流道且第二喷嘴头与流道分离，并且在第二旋转位置上，第二喷嘴头连通流道且第一喷嘴头与流道分离。

公开(公告)号：CN109461671B

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN201710794556.6

申请日：2017-09-06

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 钟仁阳 ,  谢劼 ,  简上杰 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明部分实施例提供一种标靶燃料产生器及供应标靶燃料的方法。标靶燃料产生器包括一储存组件和喷嘴组件。储存组件具有一流道。标靶燃料产生器还包括一喷嘴组件。喷嘴组件以可旋转于一第一旋转角度与一第二旋转角度的方式连结储存组件。并且，喷嘴组件包括一第一喷嘴头以及一第二喷嘴头。在第一旋转位置上，第一喷嘴头连结流道且第二喷嘴头与流道分离，并且在第二旋转位置上，第二喷嘴头连通流道且第一喷嘴头与流道分离。

公开(公告)号：CN108227399A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711307411.5

申请日：2017-12-11

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 简上杰 ,  郑杰夫 ,  石世昌 ,  巫昆晋 ,  刘冠亨 ,  钟仁阳 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70916 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70933 ,  H05G2/00 ,  H05G2/001 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008 ,  G03F7/2004

Abstract: 一种极紫外光光刻系统，包括配置以收集和反射极紫外光放射线的收集器、与收集器整合的盖体、连接盖体且配置以接收来自收集器的碎屑蒸气的第一排气线路、连接第一排气线路且配置以补集碎屑蒸气的碎屑补集器、以及连接碎屑补集器的第二排气线路。

公开(公告)号：CN109587916A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811147895.6

申请日：2018-09-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 简上杰 ,  杨基 ,  钟仁阳 ,  罗绍维 ,  傅中其 ,  陈俊光 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本公开一些实施例包括一种极紫外光源，包括收集镜、排放口、液滴产生器、以及薄膜。液滴产生器配置成朝向排放口射出靶材。薄膜设置在收集镜上。薄膜被配置成捕捉靶材所形成的残余物。

公开(公告)号：CN109587918A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811094243.0

申请日：2018-09-19

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 钟仁阳 ,  谢劼 ,  简上杰 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H05H1/24 ,  G03F7/20

Abstract: 一种极紫外光(EUV)辐射源的控制方法，包括：以来自液滴照射模块的光照射标靶液滴，检测由标靶液滴反射及/或散射的光。此方法包括判定所检测的光强度是否介于可接受范围内。因应所检测的光强度未介于可接受范围内的判定，自动地调整液滴照射模块的参数，以使所检测的光强度落入可接受范围内。

公开(公告)号：CN109426085A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201710738608.8

申请日：2017-08-25

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 简上杰 ,  钟仁阳 ,  吴尚颖 ,  罗绍维 ,  陈立锐 ,  郑博中 ,  陈家桢

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法。上述装置包括一支撑杆、一伸缩杆、一控制单元及一黏附元件。伸缩杆具有相对的第一端及第二端，且第一端活动地连接支撑杆。控制单元配置用以控制伸缩杆相对支撑杆的运动及控制伸缩杆的伸缩。粘附元件设置于伸缩杆的第二端，用以清除集光镜上的污染物。

公开(公告)号：CN109148320A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201711295773.7

申请日：2017-12-08

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 简上杰 ,  钟仁阳 ,  吴尚颖 ,  傅中其 ,  陈立锐 ,  郑博中 ,  陈家桢

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/20

CPC classification number: H05G2/005 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916 ,  H05G2/008 ,  H01L21/67011 ,  G03F7/20

Abstract: 极紫外光(EUV)辐射源设备包含收集器、用于产生锡(Sn)液滴的目标液滴产生器、可旋转碎片收集装置、以及围住至少收集器和可旋转碎片收集装置的腔室。可旋转碎片收集装置包含第一端支撑件、第二端支撑件以及多个叶片，这些叶片的端部分别由第一端支撑件和第二端支撑件支撑。这些叶片中的至少一个的表面涂覆将SnH4还原为Sn的催化剂层。