半导体封装及其制造方法

    公开(公告)号:CN112687634B

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202010093038.3

    申请日:2020-02-14

    Abstract: 提供一种半导体封装及一种半导体封装的制造方法。所述封装包括管芯、层间穿孔、介电膜、后侧膜及焊料膏部分。所述层间穿孔设置在半导体管芯旁边且模塑化合物在横向上环绕管芯及层间穿孔。所述介电膜设置在半导体管芯的后侧上,且所述后侧膜设置在介电膜上。后侧膜的热膨胀系数及杨氏模量中的至少一者比介电膜的热膨胀系数及杨氏模量中的至少一者大。所述焊料膏部分设置在层间穿孔上且位于穿透过介电膜及后侧膜的开口内。具有在开口内位于介电膜与后侧膜之间的界面处的凹槽。本公开提供的结构及方法与包含对已知良好管芯进行中间验证的测试方法结合使用以提高良率。

    半导体器件和方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109585309B

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201810979949.9

    申请日:2018-08-27

    Abstract: 本发明的实施例公开了半导体器件及其形成方法。在一个实施例中,一种半导体器件包括:在第一介电层上的导电屏蔽件;在第一介电层和导电屏蔽件上的第二介电层,第一和第二介电层围绕导电屏蔽件,第二介电层包括:沿着导电屏蔽件的外围设置的第一部分;延伸穿过导电屏蔽件的中心区域的第二部分;以及延伸穿过导电屏蔽件的通道区的第三部分,第三部分将第一部分连接至第二部分;在第二介电层上的线圈,线圈设置在导电屏蔽件上方;在第二介电层上的集成电路管芯,集成电路管芯设置在线圈的外部;以及围绕线圈和集成电路管芯的密封剂,密封剂、集成电路管芯和线圈的顶表面是平齐的。

    半导体封装件和方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109786267A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201810609924.X

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 在实施例中,器件包括:背侧再分布结构,背侧再分布结构包括:金属化图案,位于第一介电层上;以及第二介电层,位于金属化图案上;通孔,穿过第一介电层延伸以接触金属化图案;集成电路管芯,邻近第一介电层上的通孔;模塑料,位于第一介电层上,模塑料密封通孔和集成电路管芯;导电连接件,穿过第二介电层延伸以接触金属化图案,导电连接件电连接至通孔;以及金属间化合物,位于导电连接件和金属化图案的界面处,金属间化合物仅部分地延伸至金属化图案内。本发明的实施例还涉及半导体封装件和方法。

    半导体结构及其形成方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113097184B

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202011521563.7

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 在一个实施例中,一种结构包括:第一集成电路管芯,包括第一管芯连接器;第一介电层,位于第一管芯连接器上;第一导电过孔,延伸穿过第一介电层,第一导电过孔连接至第一管芯连接器的第一子集;第二集成电路管芯,利用第一可回流连接器接合至第一管芯连接器的第二子集;第一密封剂,围绕第二集成电路管芯和第一导电过孔,第一密封剂和第一集成电路管芯横向地相邻;第二导电过孔,与第一集成电路管芯相邻;第二密封剂,围绕第二导电过孔、第一密封剂、和第一集成电路管芯;以及第一再分布结构,包括第一再分布线,第一再分布线连接至第一导电过孔和第二导电过孔。本申请的实施例还提供一种形成半导体结构的方法。

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