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公开(公告)号:CN108431969B
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201780001638.9
申请日:2017-08-21
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L31/0224 , H01L31/0445 , H01L31/0747
摘要: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法,该方法包括:在半导体晶片的上表面上形成第一半导体层并且在半导体晶片的下表面上形成极性与第一半导体层的极性不同的第二半导体层的工序;在第一半导体层的上表面上形成第一透明导电层而使第一半导体层的一部分暴露于外部并且在第二半导体层的下表面上形成第二透明导电层而使第二半导体层的一部分暴露于外部的工序;以及第一透明导电层和第二透明导电层中的至少一者上的等离子处理工序,其中,等离子处理工序包括除去第一半导体层的暴露于外部的部分和第二半导体层的暴露于外部的部分的工序。
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公开(公告)号:CN115362283A
公开(公告)日:2022-11-18
申请号:CN202180026038.4
申请日:2021-03-30
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要: 本发明提供了一种基板处理设备及方法,其可以在薄膜沉积于基板上之后有效地清理其中累积有副产物的腔体。此外,本发明提供了一种基板处理设备及方法,其可以在进行有机金属化学气相沉积之后有效地清理包含累积在腔体内部的金属的副产物。
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公开(公告)号:CN114008739A
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202080045507.2
申请日:2020-06-11
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01J37/32
摘要: 本发明涉及一种衬底处理装置,包括第一电极和第二电极,第一电极和第二电极的位置可以考虑热膨胀系数的差异而提前调整,使得即使在处理期间第一电极和第二电极出现热膨胀的情况下也防止通过第一电极和第二电极之间的接触所产生的短路。即使在第一电极和第二电极由于处理期间温度的上升而出现热膨胀的情况下,本发明的衬底处理装置也可以防止第一电极和第二电极之间的短路,并且可以在用于处理大衬底的衬底处理装置中维持薄膜的均匀性。
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公开(公告)号:CN108431969A
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201780001638.9
申请日:2017-08-21
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L31/0224 , H01L31/0445 , H01L31/0747
CPC分类号: H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/04 , H01L31/0445 , H01L31/18
摘要: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法,该方法包括:在半导体晶片的上表面上形成第一半导体层并且在半导体晶片的下表面上形成极性与第一半导体层的极性不同的第二半导体层的工序;在第一半导体层的上表面上形成第一透明导电层而使第一半导体层的一部分暴露于外部并且在第二半导体层的下表面上形成第二透明导电层而使第二半导体层的一部分暴露于外部的工序;以及第一透明导电层和第二透明导电层中的至少一者上的等离子处理工序,其中,等离子处理工序包括除去第一半导体层的暴露于外部的部分和第二半导体层的暴露于外部的部分的工序。
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公开(公告)号:CN106104430A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201480069937.2
申请日:2014-12-18
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: G06F3/041
CPC分类号: G06F3/041 , C23C16/40 , C23C16/44 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111
摘要: 本发明公开了一种触控面板的制造设备、制造系统、以及制造方法,本发明使用具有传导性的透明第一氧化物形成桥,并且在此桥上形成对高温和高湿度稳固的第二氧化物。所述制造方法包括:在基板的显示区域中形成多个电极部,在所述基板的非显示区域中形成光阻挡层,在所述光阻挡层上形成电极线,通过使用具有传导性的透明的第一氧化物形成线桥,以及在第一氧化物上形成第二氧化物,用于保护第一氧化物。
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公开(公告)号:CN118696396A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202380021409.9
申请日:2023-02-22
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L21/02 , C23C16/455 , H10N97/00
摘要: 本公开提供一种形成介电膜的方法,包括供应第一源气体的步骤、供应第一吹除气体的步骤、供应第一反应气体的步骤以及供应第二吹除气体的步骤,其中,供应第一源气体的步骤包括将含有选自由镧(La)、铈(Ce)、锶(Sr)、钆(Gd)、铪(Hf)和锆(Zr)组成的组中的至少一种金属的化合物供应至真空沉积设备中,并且其中,供应第一反应气体的步骤包括将选自由O3和H2O组成的组的化合物供应至真空沉积设备中。
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公开(公告)号:CN114008739B
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202080045507.2
申请日:2020-06-11
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01J37/32
摘要: 本发明涉及一种衬底处理装置,包括第一电极和第二电极,第一电极和第二电极的位置可以考虑热膨胀系数的差异而提前调整,使得即使在处理期间第一电极和第二电极出现热膨胀的情况下也防止通过第一电极和第二电极之间的接触所产生的短路。即使在第一电极和第二电极由于处理期间温度的上升而出现热膨胀的情况下,本发明的衬底处理装置也可以防止第一电极和第二电极之间的短路,并且可以在用于处理大衬底的衬底处理装置中维持薄膜的均匀性。
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公开(公告)号:CN106165113B
公开(公告)日:2017-12-08
申请号:CN201580017240.5
申请日:2015-01-07
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L31/046 , H01L31/0468
CPC分类号: H01L31/0468 , H01L31/02168 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/046 , H01L31/0512 , H02S20/22 , H02S40/42 , Y02B10/10 , Y02E10/50
摘要: 本发明公开了一种具有改善的能见度的光伏装置及其制造方法,该光伏装置能够提高光‑电转换效率并且能够应用于建筑物的窗户或移动装置例如车辆的观察窗。所述光伏装置包括:透明基板;在所述透明基板的一个表面上形成的透明电极;多个光伏电池,设置为分别包括在所述透明电极上形成的第一电极、在该第一电极上形成的光‑电转换部和在该光‑电转换部上形成的第二电极,以及设置在相邻的光伏电池之间的分离部。分离部使透明电极暴露在入射太阳光下。
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公开(公告)号:CN102024826A
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200910266021.7
申请日:2009-12-31
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L27/142 , H01L31/042 , H02N6/00 , H01L21/82
CPC分类号: H01L31/022433 , H01L31/035272 , H01L31/03921 , H01L31/046 , H01L31/0463 , H01L31/075 , H01L31/076 , Y02E10/548
摘要: 本发明提供一种具有多个串联连接的单体电池的薄膜型太阳能电池,其中,通过提高能量转换效率相对较低的单体电池中的能量转换效率,保持全部单体电池中的能量转换效率一致,由此实现能量转换效率的提高。所述薄膜型太阳能电池包括多个单体电池,每个单体电池包括顺序地沉积在衬底上的前电极、半导体层和后电极,其中,所述薄膜型太阳能电池包括第一单体电池组和第二单体电池组,所述第一单体电池组包括至少一个具有第一电池宽度的第一单体电池,所述第二单体电池组包括至少一个具有与第一电池宽度不同的第二电池宽度的第二单体电池,其中,第一单体电池组占所述单体电池的整个面积的80%到95%,第二单体电池组占所述单体电池的整个面积的5%到20%。
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公开(公告)号:CN118805240A
公开(公告)日:2024-10-18
申请号:CN202380021410.1
申请日:2023-02-20
申请人: 周星工程股份有限公司
IPC分类号: H01L21/02 , H01L21/32 , C23C16/04 , C23C16/40 , C23C16/455
摘要: 本发明涉及一种形成有绝缘层以及电极层的基板的处理方法,以及一种基板的处理方法包括:使用包含氟(F)的工艺气体在基板上进行等离子体处理的等离子体处理步骤;将包含高介电系数材料(high‑k dielectric material)的源气体喷射到已经进行过等离子体处理步骤的基板上的选择性吸附步骤;以及将反应气体喷射到已经进行过选择性吸附步骤的基板上以将高介电系数层仅沉积到电极层上的选择性沉积步骤。
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