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公开(公告)号：CN220189589U
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202321786285.7
申请日：2023-07-07
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 , 国核铀业发展有限责任公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆辐照的托盘结构包括：托盘，呈矩形，用于放置晶圆；定位螺丝，与托盘螺接，具有两列，每列具有8个定位螺丝，用于固定晶圆。本实用新型使用定位螺丝实现对晶圆的固定，整体建构简单，定位螺丝拆卸方便，使用周期长，不易变形，且可以通过4个对晶圆固定的定位螺丝进行配合调整高度，进而来改变晶圆的倾斜度，进而在晶圆辐照前后调整角度。
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公开(公告)号：CN116709627A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310757182.6
申请日：2023-06-26
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于回旋加速器束流引出的新型剥离靶及束流引出方法，所述剥离靶包括：固定件，包括真空室窗口盖板，连接在所述真空室窗口盖板一侧的电机支座，连接在所述真空室窗口盖板另外一侧的铝合金支撑架；还包括：驱动件，与固定件连接，带动滑动件延预定行程滑动；滑动件，与驱动件连接，带动摆动件进行摆动，使剥离膜发生运动，改变束流引出轨迹；摆动件，与滑动件连接。本实新型在能够有效实现剥离、测束、限位、绝缘等多种功能的情况下简化了剥离靶结构来快速实现剥离引出质子束流，本剥离靶结构简单、制作成本低、制作周期短，进而适应一些特殊的、实验性的、临时性的运行工况。
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公开(公告)号：CN116072325A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211735374.9
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述送料部包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本发明通过在束流传输线的底部设计送料部，完成带动放置有晶圆的托板进行运动，且通过十字滑台的设计，使得放置有晶圆的托板在预定范围内的全方位运动，进而使得束流可以辐照晶圆，与传统的磁体偏转的辐照方式相比，本申请的辐照角度保持与晶圆垂直，不会发生偏角，进而使得晶圆的辐照更为均匀。
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公开(公告)号：CN115938895A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211738290.0
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01L21/02 , H01L21/263 , H01L21/423
摘要： 本发明公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
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公开(公告)号：CN118658765A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410823550.7
申请日：2024-06-24
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01L21/265
摘要： 本发明公开了一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统，所述方法包括：步骤1、将多个粒子探测器布置在辐照点四周，将靶材放置在辐照质子流下；步骤2、辐照质子流照射辐照点上的靶材；步骤3、质子与晶圆发生核反应产生次级粒子，粒子探测器接收到散射的次级粒子；步骤4、依据点核积分算法，根据接收到的次级粒子信息，得到辐照点对单个探测器的距离，结合多个粒子探测器之间的距离得到辐照点的具体位置。本发明基于高能氢离子注入产生的次级粒子，依托粒子探测器可针对氢离子注入过程进行监控，结合点核积分算法反演，达到晶圆辐照点定位。
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公开(公告)号：CN118507097A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410482696.X
申请日：2024-04-19
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照系统的联锁式辐射屏蔽装置及方法，所述装置包括：屏蔽仓；所述屏蔽仓呈凸形，用于遮盖偏转磁铁，屏蔽仓由屏蔽板制成，所述屏蔽板由聚乙烯板及铅板组合形成；所述屏蔽仓的底部设有驱动机构，所述驱动机构上还设有限位开关；所述限位开关安装位置与偏转磁铁对应。本发明通过设计由铅板及聚乙烯板组合形成侧屏蔽板进行制成屏蔽仓，单独对辅照系统的偏转磁铁部分进行屏蔽，与传统的屏蔽方式相比，避免了使用较多的屏蔽材料，极大的缩减了成本，同时对空间与环境要求较小，屏蔽仓轻便可移动，对屏蔽仓内部设备维护时也更容易，提高了安全性，同时将限位开关接入安全联锁控制器，增加了一层冗余。
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公开(公告)号：CN117524859A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311562388.X
申请日：2023-11-21
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01L21/268
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照的掩膜方法包括：步骤1、确定晶圆辐照区域；步骤2、确定晶圆待掩盖区域；步骤3、根据辐照时选择的加速器引出能量计算待掩盖区域所需掩膜厚度；步骤4、选取合适厚度的掩膜，将其裁切成与待掩盖区域相等的形状及大小；步骤5、将掩膜的边缘与非辐照面的晶圆进行固定，再将固定后的掩膜和晶圆一同放置于待辐照的腔体内，进行辐照工艺。本发明在晶圆辐照前将一定厚度的掩膜制成与无需辐照区域面积大小相等的图形，并将掩膜的边缘与非辐照面的晶圆进行固定，最后进行辐照工艺，辐照后，晶圆被掩膜遮挡区域不受辐照影响，未遮挡区域完成辐照，进而避免无需辐照区域受辐照后出现损伤。
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公开(公告)号：CN220067770U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202321623646.6
申请日：2023-06-26
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于回旋加速器束流引出的新型剥离靶包括：固定件，包括真空室窗口盖板，连接在所述真空室窗口盖板一侧的电机支座，连接在所述真空室窗口盖板另外一侧的铝合金支撑架；还包括：驱动件，与固定件连接，带动滑动件延预定行程滑动；滑动件，与驱动件连接，带动摆动件进行摆动，使剥离膜发生运动，改变束流引出轨迹；摆动件，与滑动件连接。本实用新型在能够有效实现剥离、测束、限位、绝缘等多种功能的情况下简化了剥离靶结构来快速实现剥离引出质子束流，本剥离靶结构简单、制作成本低、制作周期短，进而适应一些特殊的、实验性的、临时性的运行工况，比如所需束流能量较低时，束流剥离点距离真空室壁距离较远但固定的场合。
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公开(公告)号：CN219106068U
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202223579772.4
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01L21/02 , H01L21/263 , H01L21/423
摘要： 本实用新型公开了一种束流传输线用偏角辐照系统包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本实用新型通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
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公开(公告)号：CN219173305U
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202223580432.3
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： B65G13/07 , B65G35/00 , H01L21/677
摘要： 本实用新型公开了一种束流传输线辐照系统用运料装置包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本实用新型通过设计一组驱动件进行带动两组传动件进行转动，进而带动滑动件进行沿着送料滑轨进行滑动，进而带动托板进行升降工作，与传统的两套驱动系统相比，无需设计两个电机，仅设计一个电机，技术电机损坏时，整个送料单元也只是停止工作，与传统两套驱动系统相比，不会出现某个电机出现损坏，另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏的情况。
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