柔性长链多鎓盐光致产酸剂、其制备方法和光刻胶组合物

    公开(公告)号:CN109796382A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910145900.8

    申请日:2019-02-27

    摘要: 本发明公开了一种柔性长链多鎓盐光致产酸剂、其制备方法和光刻胶组合物,柔性长链多鎓盐光致产酸剂具有如下结构通式(I)或(II):(I)(II)式中,A为I、S中的一种或两种;X为含链长为1~20个原子的链状基团;na为2或3;R为H、Cl、Br、I、或碳原子数在1~20的烷基或烷氧基的一种或多种,R在苯环上的取代数为1~5。本发明在一个光敏剂分子内,通过延长碳链连接多个鎓盐结构单元,能使光敏剂更好地溶解在光刻胶溶液内,使之均匀分布;分子内含有多个硫鎓盐提高了单位产酸效率;含氟磺酸的阴离子具有足够的酸性,可以和树脂发生化学放大反应;而长链的结构能在一定区域内增加光酸的浓度,又能在一定程度上控制酸扩散的范围。

    一种电子级高纯8-羟基喹啉铝的制备方法

    公开(公告)号:CN110922356A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911219204.3

    申请日:2019-12-03

    IPC分类号: C07D215/30

    摘要: 本发明公开了一种电子级高纯8-羟基喹啉铝的制备方法,包括以下步骤:a.提供纯度不低于99vol%的有机溶剂A和有机溶剂B;b.将8-羟基喹啉铝粗品溶于有机溶剂A中,搅拌,过滤,收集滤液;c.将滤液加入有机溶剂B中,静置,过滤,收集沉淀;d.将步骤c中收集的沉淀在真空条件下加热干燥,即得。该方法操作简单,生产效率高,试剂原料易得,成本低,产率高,符合在有机电致发光材料中的应用需求,且与传统方法相比,更适合大规模生产,适宜在行业内广泛推广。

    具有光酸活性的光刻胶树脂及光刻胶

    公开(公告)号:CN112925167A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202110102217.3

    申请日:2021-01-26

    摘要: 本发明公开了具有光酸活性的光刻胶树脂及光刻胶,光刻胶树脂包括含氟树脂以及酸活性树脂;酸活性树脂至少包含一个极性侧链及一个非极性侧链;含氟树脂至少包括一个极性侧链、一个非极性侧链及一个含氟侧链;酸活性树脂包含的极性侧链与含氟树脂包含的极性侧链相同;酸活性树脂包含的非极性侧链与所述含氟树脂包含的非极性侧链相同,含氟树脂的非极性侧链具有光酸活性,光刻胶中包含上述光刻胶树脂。上述的光刻胶树脂中含氟树脂的酸活性功能基团与酸活性树脂的酸活性功能基团匹配度较高,以保证在曝光区和非曝光区产生足够的显影液溶解性差异,从而提高光刻胶树脂进行光刻曝光的质量。

    一种电子级四甲氧甲基甘脲及其制备方法

    公开(公告)号:CN112778313A

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN202011637637.3

    申请日:2020-12-31

    摘要: 本发明提供了一种电子级四甲氧甲基甘脲的制备方法,该方法包括如下步骤:将AR级四羟甲基甘脲与电子级甲醇溶剂混合成反应液,并向反应液中加入电子级催化剂;反应液在预设温度下反应预设时长后,冷却至室温,并加入有机碱调节pH至中性;将调节后的反应液进行分离纯化,得到电子级四甲氧甲基甘脲。本发明还提供一种电子级四甲氧甲基甘脲。在反应体系中加入的甲醇溶液以及催化剂均为电子级试剂,减少金属杂质的引入,在反应结束后,采用有机碱代替传统无机碱进行pH的调节,同样大大降低了金属杂质引入。因此,采用本发明中的制备方法制备出的四甲氧甲基甘脲金属残留少,纯度高,可用作负性光刻胶中的交联剂。

    一种含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶及其制备方法

    公开(公告)号:CN112764314A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202110089856.0

    申请日:2021-01-22

    IPC分类号: G03F7/004

    摘要: 本发明实施例公开了一种含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶及其制备方法,该光刻胶包括以下原料:0.1‑10重量组分的含双酯结构的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A。本发明实施例提供的所述的含双酯结构的光致酸产生剂的光刻胶通过添加的含双酯结构的光致酸产生剂使得光刻胶在进行光刻工艺时,光刻胶中的光致酸产生剂可产生有效的可控大体积酸,进而提升光刻胶的分辨率,减小了制作的电路的线宽和粗糙度,提高树脂的黏附性,改善光刻胶的整体性能。

    一种光刻胶组合物及其制备方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112764313A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202110089814.7

    申请日:2021-01-22

    IPC分类号: G03F7/004

    摘要: 本发明实施例提供了一种光刻胶组合物及其制备方法,该光刻胶组合物包括以下原料:0.1‑10重量组分的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A;其中所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂,所述酸扩散抑制剂为含有羟基功能单元和碱性功能单元的酸扩散抑制剂。本发明实施例提供的光刻胶组合物在采用含双酯结构的光致酸产生剂的条件下,通过添加含有羟基功能单元和碱性功能单元的酸扩散抑制剂,进一步改善了光刻胶的线宽粗糙度,提高了光刻胶的分辨率,增强了光刻胶的成膜能力。