-
公开(公告)号:CN113168098A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202080006340.9
申请日:2020-01-08
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种能够形成缺陷被抑制的图案的感光化射线性或感辐射线性树脂组合物。并且,提供一种使用了上述感光化射线性或感辐射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感辐射线性树脂组合物包含酸分解性树脂以及通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物,上述通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物包含:选自由化合物(I)~化合物(III)组成的组中的1种以上;以及选自由以通式(1)表示的化合物及由通式(2)表示的化合物组成的组中的1种以上。
-
公开(公告)号:CN114375421B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202080060142.0
申请日:2020-07-29
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够形成LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且,提供一种用于能够形成LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的树脂以及作为其单体的化合物。并且,提供一种使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有树脂X,所述树脂X含有来源于下述化合物的重复单元。化合物:其含有2个以上由阴离子部位和阳离子部位构成的结构部位及聚合性基团,通过光化射线或放射线的照射产生含有来源于上述2个以上的结构部位中的上述阴离子部位的酸性部位的酸。
-
公开(公告)号:CN110537148B
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN201880026076.8
申请日:2018-04-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种Z‑因子良好且能够形成图案崩塌得到抑制的图案的EUV光用感光性组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物含有规定的树脂及光产酸剂,或者含有具有含光产酸基团的重复单元的规定的树脂,且满足要件1和要件2。要件1:由式(1)求出的A值为0.14以上。式(1):A=([H]×0.04+[C]×1.0+[N]×2.1+[O]×3.6+[F]×5.6+[S]×1.5+[I]×39.5)/([H]×1+[C]×12+[N]×14+[O]×16+[F]×19+[S]×32+[I]×127)。要件2:EUV光用感光性组合物中的固体成分浓度为2.5质量%以下。
-
公开(公告)号:CN107111026A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580057793.3
申请日:2015-10-23
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G02B5/208 , C07F1/08 , C07F9/113 , C09B47/04 , G02B3/0056 , G02B5/201 , G02B5/22 , G02B13/16 , H04N5/2254 , H04N2201/0084
Abstract: 本发明提供一种可形成近红外遮蔽性优异的固化膜的近红外吸收性组合物、近红外截止滤光片、近红外截止滤光片的制造方法、固体成像元件及相机模块。该近红外吸收性组成物包含如下铜络合物,其为酞菁铜络合物以外的铜络合物,且在700nm~1200nm的波长区域具有最大吸收波长,最大吸收波长下的摩尔吸光系数为100(L/mol·cm)以上。
-
公开(公告)号:CN113168098B
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202080006340.9
申请日:2020-01-08
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种能够形成缺陷被抑制的图案的感光化射线性或感辐射线性树脂组合物。并且,提供一种使用了上述感光化射线性或感辐射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感辐射线性树脂组合物包含酸分解性树脂以及通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物,上述通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物包含:选自由化合物(I)~化合物(III)组成的组中的1种以上;以及选自由以通式(1)表示的化合物及由通式(2)表示的化合物组成的组中的1种以上。
-
公开(公告)号:CN114846089A
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202180007478.5
申请日:2021-01-15
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 一种着色组合物,其包含黄色着色剂及固化性化合物,在该着色组合物中,黄色着色剂包含由式(1)表示的结构的摩尔数与由式(1)表示的结构、由式(2)表示的结构及由式(3)表示的结构的合计摩尔数之比为0.50~0.99的着色剂A。本发明还提供一种使用着色组合物而成的膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
-
公开(公告)号:CN110537148A
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201880026076.8
申请日:2018-04-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种Z-因子良好且能够形成图案崩塌得到抑制的图案的EUV光用感光性组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物含有规定的树脂及光产酸剂,或者含有具有含光产酸基团的重复单元的规定的树脂,且满足要件1和要件2。要件1:由式(1)求出的A值为0.14以上。式(1):A=([H]×0.04+[C]×1.0+[N]×2.1+[O]×3.6+[F]×5.6+[S]×1.5+[I]×39.5)/([H]×1+[C]×12+[N]×14+[O]×16+[F]×19+[S]×32+[I]×127)。要件2:EUV光用感光性组合物中的固体成分浓度为2.5质量%以下。
-
公开(公告)号:CN119174027A
公开(公告)日:2024-12-20
申请号:CN202380039026.4
申请日:2023-05-31
Applicant: 富士胶片株式会社 , 国立大学法人东京科学大学
IPC: H01M10/0562 , H01M10/052 , H01M10/0587
Abstract: 一种卷绕型全固态锂离子二次电池及其制造方法,所述卷绕型全固态锂离子二次电池将依次配置正极层、固态电解质层及负极层而成的层叠体卷绕于芯材上而形成,其中,所述固态电解质层包含非晶状态的固态电解质,所述非晶状态的固态电解质含有包含Li、B及O的含锂氧化物及锂盐,在该非晶状态的固态电解质中,所述锂盐的含量相对于所述含锂氧化物的含量的比值以摩尔比计为0.001~1.5。
-
公开(公告)号:CN119174022A
公开(公告)日:2024-12-20
申请号:CN202380039025.X
申请日:2023-05-31
Applicant: 富士胶片株式会社 , 国立大学法人东京科学大学
IPC: H01M10/052 , H01M4/13 , H01M4/66 , H01M10/0562 , H01M10/0585
Abstract: 一种全固态锂离子二次电池,其具有1个以上的依次配置正极层、固态电解质层及负极层而成的层叠体,其中,上述正极层及上述负极层中的至少一者所包含的集电体层中的至少一者为在构成材料或者在涂层中具有特定的金属的层,上述固态电解质层包含非晶状态的固态电解质,所述非晶状态的固态电解质含有包含Li、B及O的含锂氧化物、相对于该含锂氧化物以特定的摩尔比含有的水及锂盐。
-
公开(公告)号:CN115053130A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202180012994.7
申请日:2021-01-25
Applicant: 富士胶片株式会社 , 国立大学法人东京大学
IPC: G01N27/626 , G01N27/64 , H01J49/10 , H01J49/26
Abstract: 本发明提供一种标准试样膜、标准试样、标准试样膜的制造方法、试样组、定量分析方法及转印薄膜,所述标准试样膜用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法,其含有有机物,且基于测定位置的金属元素的离子的信号强度的偏差小。本发明的标准试样膜用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法,所述标准试样膜含有聚合物及金属元素,且标准试样膜的膜厚的最大高低差为0.50μm以下。
-
-
-
-
-
-
-
-
-