公开(公告)号：CN111441015A

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN202010001262.5

申请日：2013-12-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乌韦·许斯勒 ,  斯蒂芬·班格特 ,  卡尔·阿尔伯特·凯姆 ,  乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/14 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。

公开(公告)号：CN107810410A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201580080972.9

申请日：2015-06-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ,  卡尔·阿尔伯特·凯姆 ,  斯蒂芬·班格特 ,  海克·兰特格雷夫

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/036 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/546 ,  C23C14/243 ,  G01N29/022 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0256

Abstract: 描述一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)。测量组件(100)包括用于测量沉积速率的振荡晶体(110)和用于固持振荡晶体(110)的固持器(120)，其中固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。

公开(公告)号：CN105874095A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380081379.7

申请日：2013-12-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乌韦·许斯勒 ,  斯蒂芬·班格特 ,  卡尔·阿尔伯特·凯姆 ,  乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  B01D1/00

CPC classification number: C23C14/14 ,  B01D1/0064 ,  B01D1/0082 ,  C23C14/24 ,  C23C14/246 ,  C23C14/542 ,  C23C14/545

Abstract: 本发明揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。