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公开(公告)号：CN109792004A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780036547.9
申请日：2017-09-05
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 萨伊亚穆图西·哥文达萨米 , 沃尔夫冈·克莱因 , 斯里尼瓦斯·萨鲁古 , 安德烈亚斯·索尔 , 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧
IPC: H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/67 , H01L21/033 , G03F7/20
Abstract: 描述一种搬运掩模器件的方法。根据实施方式，所述方法包括：将所述掩模器件装载在用于保持掩模器件的保持布置上；将所述保持布置从第一状态移动到第二状态，所述第二状态为非水平状态；使所述保持布置与掩模载体对准；以及将所述掩模器件从所述保持布置传送到所述掩模载体。另外，描述一种用于从掩模载体更换掩模器件的设备以及一种包括这种设备的真空系统。
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公开(公告)号：CN110024100A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780045236.9
申请日：2017-11-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 萨伊亚穆图西·哥文达萨米 , 沃尔夫冈·克莱因 , 斯里尼瓦斯·萨鲁古 , 安德烈亚斯·索尔 , 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 描述对准载体、特别是掩模载体的方法。根据实施方式，所述方法包括：在运输方向(T)上运输载体(110)；将对准组件(150)的第一对准元件(152)插入所述载体的第二对准元件中，或将所述载体的第二对准元件插入对准组件(150)的第一对准元件(152)中；和通过在将所述第一对准元件插入所述第二对准元件中或将所述第二对准元件插入所述第一对准元件中时降低所述载体来在所述运输方向(T)上相对于所述对准组件(150)水平地对准所述载体。根据另外的实施方式，提供一种用于对准载体的设备。所述设备可经构造以从掩模载体更换掩模装置。进一步地，提供一种掩模载体。
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公开(公告)号：CN112912533B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201880098803.1
申请日：2018-11-28
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源(100)包括分配布置(110)，所述分配布置具有多个出口(111)以用于在主沉积方向(101)上提供蒸发的第一材料(A)和蒸发的第二材料(B)。另外，所述沉积源包括测量组件(120)，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料(A)的第一沉积速率并用于测量所述蒸发的第二材料(B)的第二沉积速率。所述测量组件(120)具有处于与所述主沉积方向(101)交叉的方向上的主检测方向(102)。此外，所述沉积源(100)包括分离元件(130)，所述分离元件用于在与所述主检测方向(102)交叉的方向上分离所述蒸发的第一材料(A)和所述蒸发的第二材料(B)。所述分离元件(130)在所述主检测方向(102)上布置在所述多个出口(111)与所述测量组件(120)之间。
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公开(公告)号：CN112912533A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201880098803.1
申请日：2018-11-28
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种用于沉积蒸发的材料的沉积源。所述沉积源(100)包括分配布置(110)，所述分配布置具有多个出口(111)以用于在主沉积方向(101)上提供蒸发的第一材料(A)和蒸发的第二材料(B)。另外，所述沉积源包括测量组件(120)，所述测量组件用于测量所述蒸发的第一材料(A)的第一沉积速率并用于测量所述蒸发的第二材料(B)的第二沉积速率。所述测量组件(120)具有处于与所述主沉积方向(101)交叉的方向上的主检测方向(102)。此外，所述沉积源(100)包括分离元件(130)，所述分离元件用于在与所述主检测方向(102)交叉的方向上分离所述蒸发的第一材料(A)和所述蒸发的第二材料(B)。所述分离元件(130)在所述主检测方向(102)上布置在所述多个出口(111)与所述测量组件(120)之间。
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