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公开(公告)号：CN100426452C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200510069717.2
申请日：2005-02-28
Applicant: 应用材料有限公司
Inventor： 戴维·C.·杜芬 , 丹尼尔·R.·杰索普 , 迈克尔·特弗拉 , 艾米特·普利 , 格雷德·L.·沃纳
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/31002 , G05B2219/32266 , G05B2219/32277 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/20 , Y02P90/28 , Y02P90/285
Abstract: 提供了一种管理小批次在电子设备制造设施中的处理工具之间移动的方法和设备。在一些实施例中，确定多个将处理的优先批次并且在处理工具的衬底装载站保留相等数目的载体存储位置。通过处理并且从衬底装载站提升占据的非优先批次和/或移动未处理的占据的非优先批次来使多个保留的载体存储位置可用。然后把优先批次转送到保留的载体存储位置。还提供了其他实施例。
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公开(公告)号：CN1736831A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510091397.0
申请日：2005-02-28
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: H01L21/67276
Abstract: 在第一方面，提供电子装置制造的第一方法。该第一方法包括步骤(1)接收一个从包括多个基片加载站的电子装置制造设施的第一基片加载站传送载体到第二基片加载站的请求，其中该设施还进一步包括多个连接到适于在设施内运送载体的传送带系统的载体支架；(2)指定多个载体支架中的一个来从第一基片加载站传送载体到第二基片加载站，使得至少是减少传送所需的时间和保持传送带系统的平衡之一；(3)从第一基片加载站运送载体；和(4)将载体运送到第二基片加载站。还提供了其他方面。
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公开(公告)号：CN1689941A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200510067725.3
申请日：2005-02-28
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: Y02P90/02 , Y02P90/08 , Y02P90/083 , Y02P90/28
Abstract: 提供一种载体处理器可适合(1)在载体到达载体处理器管区之前接收载体转送命令；(2)接收终止命令，其导致在前命令被取消或中止而不依赖于在前命令的状态；(3)选择无序执行的排队命令以利用所述选择的命令和/或根据执行命令所需的预计时间利用适合使用的最早到达运送系统载体支持；(4)将空载体移出相关工具以提高端口有效性；(5)连续操作甚至是涉及存储位置的转送失败后通过从不可用位置列表中移走失败的位置；(6)在尝试转送之前用传感器检验载体和转送目标状态传感器数据的完整性；以及(7)利用装配有传感器的校准载体校准运送系统的载体移交。
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公开(公告)号：CN1681083A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510069717.2
申请日：2005-02-28
Applicant: 应用材料有限公司
Inventor： 戴维·C.·杜芬 , 丹尼尔·R.·杰索普 , 迈克尔·特弗拉 , 艾米特·普利 , 格雷德·L.·沃纳
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/31002 , G05B2219/32266 , G05B2219/32277 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/20 , Y02P90/28 , Y02P90/285
Abstract: 提供了一种管理小批次在电子设备制造设施中的处理工具之间移动的方法和设备。在一些实施例中，确定多个将处理的优先批次并且在处理工具的衬底装载站保留相等数目的载体存储位置。通过处理并且从衬底装载站提升占据的非优先批次和/或移动未处理的占据的非优先批次来使多个保留的载体存储位置可用。然后把优先批次转送到保留的载体存储位置。还提供了其他实施例。
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