公开(公告)号：CN101076883A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200580038815.8

申请日：2005-09-30

Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司

Inventor： 远藤仁誉 ,  益田宪仁 ,  岛田智和

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/498 ,  H01L23/538 ,  H05K3/46

CPC classification number: H05K3/4617 ,  H01L21/4857 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/5383 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/064 ,  H05K3/205 ,  H05K3/423 ,  H05K3/4647 ,  H05K2203/0384 ,  H05K2203/0542 ,  H05K2203/0733 ,  Y10S438/931 ,  Y10T29/49124 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种互连元件(2)，该元件包括具有第一主表面和远离第一主表面的第二主表面的介电元件(4)以及多个从所述第一主表面向内延伸的凹进。多根金属迹线(6)、(6a)包埋在所述多个凹进中，该金属迹线具有与所述第一主表面基本上共平面的外表面以及远离外表面的内表面。多个柱形体(8)从多个金属迹线(6)，(6a)的内表面伸出通过介电元件(4)，多个柱形体的顶部在第二主表面上露出。还提供了包括多个这种互连元件(2)的多层线路板(12)，以及制造这种互连元件和多层线路板的多种方法。

公开(公告)号：CN101076883B

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200580038815.8

申请日：2005-09-30

Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司

Inventor： 远藤仁誉 ,  益田宪仁 ,  岛田智和

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/498 ,  H01L23/538 ,  H05K3/46

CPC classification number: H05K3/4617 ,  H01L21/4857 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/5383 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/064 ,  H05K3/205 ,  H05K3/423 ,  H05K3/4647 ,  H05K2203/0384 ,  H05K2203/0542 ,  H05K2203/0733 ,  Y10S438/931 ,  Y10T29/49124 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种互连元件(2)，该元件包括具有第一主表面和远离第一主表面的第二主表面的介电元件(4)以及多个从所述第一主表面向内延伸的凹进。多根金属迹线(6)、(6a)包埋在所述多个凹进中，该金属迹线具有与所述第一主表面基本上共平面的外表面以及远离外表面的内表面。多个柱形体(8)从多个金属迹线(6)，(6a)的内表面伸出通过介电元件(4)，多个柱形体的顶部在第二主表面上露出。还提供了包括多个这种互连元件(2)的多层线路板(12)，以及制造这种互连元件和多层线路板的多种方法。