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公开(公告)号：CN101076883A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200580038815.8
申请日：2005-09-30
Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司
IPC: H01L21/48 , H01L23/498 , H01L23/538 , H05K3/46
CPC classification number: H05K3/4617 , H01L21/4857 , H01L23/49822 , H01L23/5383 , H01L2924/0002 , H05K3/064 , H05K3/205 , H05K3/423 , H05K3/4647 , H05K2203/0384 , H05K2203/0542 , H05K2203/0733 , Y10S438/931 , Y10T29/49124 , H01L2924/00
Abstract: 提供一种互连元件(2)，该元件包括具有第一主表面和远离第一主表面的第二主表面的介电元件(4)以及多个从所述第一主表面向内延伸的凹进。多根金属迹线(6)、(6a)包埋在所述多个凹进中，该金属迹线具有与所述第一主表面基本上共平面的外表面以及远离外表面的内表面。多个柱形体(8)从多个金属迹线(6)，(6a)的内表面伸出通过介电元件(4)，多个柱形体的顶部在第二主表面上露出。还提供了包括多个这种互连元件(2)的多层线路板(12)，以及制造这种互连元件和多层线路板的多种方法。
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公开(公告)号：CN101076883B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200580038815.8
申请日：2005-09-30
Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司
IPC: H01L21/48 , H01L23/498 , H01L23/538 , H05K3/46
CPC classification number: H05K3/4617 , H01L21/4857 , H01L23/49822 , H01L23/5383 , H01L2924/0002 , H05K3/064 , H05K3/205 , H05K3/423 , H05K3/4647 , H05K2203/0384 , H05K2203/0542 , H05K2203/0733 , Y10S438/931 , Y10T29/49124 , H01L2924/00
Abstract: 提供一种互连元件(2)，该元件包括具有第一主表面和远离第一主表面的第二主表面的介电元件(4)以及多个从所述第一主表面向内延伸的凹进。多根金属迹线(6)、(6a)包埋在所述多个凹进中，该金属迹线具有与所述第一主表面基本上共平面的外表面以及远离外表面的内表面。多个柱形体(8)从多个金属迹线(6)，(6a)的内表面伸出通过介电元件(4)，多个柱形体的顶部在第二主表面上露出。还提供了包括多个这种互连元件(2)的多层线路板(12)，以及制造这种互连元件和多层线路板的多种方法。
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公开(公告)号：CN101120622B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200580034829.2
申请日：2005-09-06
Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司
IPC: H05K3/46
CPC classification number: H05K3/462 , H05K1/036 , H05K3/06 , H05K3/4038 , H05K2201/0154 , H05K2201/0355 , H05K2201/09827 , H05K2201/10378 , H05K2203/0113 , H05K2203/066 , H05K2203/1189 , H05K2203/1461 , Y10T29/49156
Abstract: 进一步减小了金属凸块(8)与随后沉积的用来形成配线膜的金属膜(10)之间的连接阻抗，从而提高了连接的稳定性。进一步缩短了通过金属凸块(8)的配线路径，提高了平面性，所述金属凸块(8)不易脱落。形成了配线膜互连部件，其中多个铜制柱状金属凸块(8)包埋在层间绝缘膜(10)内，使得至少一个端部凸出，所述凸块(8)的顶面横截面小于底面横截面，使多层配线板的配线膜互连。所述层间绝缘膜(10)的上表面是弯曲的，在与所述金属凸块(8)相接触的部分较高，而随着与凸块之间的距离增大，上表面的高度逐渐降低。
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公开(公告)号：CN101120622A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200580034829.2
申请日：2005-09-06
Applicant: 德塞拉互连材料股份有限公司
IPC: H05K3/46
CPC classification number: H05K3/462 , H05K1/036 , H05K3/06 , H05K3/4038 , H05K2201/0154 , H05K2201/0355 , H05K2201/09827 , H05K2201/10378 , H05K2203/0113 , H05K2203/066 , H05K2203/1189 , H05K2203/1461 , Y10T29/49156
Abstract: 进一步减小了金属凸块(8)与随后沉积的用来形成配线膜的金属膜(10)之间的连接阻抗，从而提高了连接的稳定性。进一步缩短了通过金属凸块(8)的配线路径，提高了平面性，所述金属凸块(8)不易脱落。形成了配线膜互连部件，其中多个铜制柱状金属凸块(8)包埋在层间绝缘膜(10)内，使得至少一个端部凸出，所述凸块(8)的顶面横截面小于底面横截面，使多层配线板的配线膜互连。所述层间绝缘膜(10)的上表面是弯曲的，在与所述金属凸块(8)相接触的部分较高，而随着与凸块之间的距离增大，上表面的高度逐渐降低。
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