一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法

    公开(公告)号:CN114488704A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111532272.2

    申请日:2021-12-15

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法,包括线路图形设计;拼接重叠区域设定;拼接图形设计;线路图形曝光显影;拼接图形曝光显影;重合线条判断;DMD偏移位置判断;DMD位置补偿;上述检测与修正方法,将基准图形和偏移图形分别利用基准DMD和非基准DMD在透明片上的拼接重叠区域内进行曝光,判断非基准DMD曝光的偏移图形与基准DMD曝光的基准图形的重合线条,根据重合线条判断非基准DMD与基准DMD的位置是否有偏移,有偏移则根据线条预设间距值调整非基准DMD的位置,可节省测量时间,提高了检测效率,同时避免受测量仪器的误差影响,以及图形拼接误差测量不精准带来的干扰。

    一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法

    公开(公告)号:CN114488704B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202111532272.2

    申请日:2021-12-15

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法,包括线路图形设计;拼接重叠区域设定;拼接图形设计;线路图形曝光显影;拼接图形曝光显影;重合线条判断;DMD偏移位置判断;DMD位置补偿;上述检测与修正方法,将基准图形和偏移图形分别利用基准DMD和非基准DMD在透明片上的拼接重叠区域内进行曝光,判断非基准DMD曝光的偏移图形与基准DMD曝光的基准图形的重合线条,根据重合线条判断非基准DMD与基准DMD的位置是否有偏移,有偏移则根据线条预设间距值调整非基准DMD的位置,可节省测量时间,提高了检测效率,同时避免受测量仪器的误差影响,以及图形拼接误差测量不精准带来的干扰。

    一种电镀参数自动获取方法

    公开(公告)号:CN110909053A

    公开(公告)日:2020-03-24

    申请号:CN201910957519.1

    申请日:2019-10-10

    发明人: 谢军 陈春 柯涵

    IPC分类号: G06F16/25 G06Q50/04

    摘要: 本发明属于线路板加工技术领域,提供了一种电镀参数自动获取方法,包括以下步骤:S1.通过自动抓取ERP数据,直接生成档案号、生产尺寸、电镀面积、铜厚要求、线宽线距参数;S2.通过自动计算,得出要求的电镀密度和电镀时间,并自动生成生产档案号。本发明通过自动识别并获取ERP参数,通过给出的电镀标准,进行自动计算,得出电镀所需的全部参数,并自动生产电镀料号,可有效解决人员输入参数错误问题;通过电镀参数自动获取方法,对于生产过程的管控要求变低,可有效改善因生产参数管控不当造成不良。

    一种厚铜PCB低介厚的压合方法和PCB板

    公开(公告)号:CN117794107A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202410033435.X

    申请日:2024-01-10

    摘要: 本发明涉及PCB制作技术领域,具体涉及一种厚铜PCB低介厚的压合方法和PCB板。该方法包括:在第一覆铜板的铜面形成第一线路图形,第一线路图形包括第一线路图形外侧面和第一线路图形内侧面,在第二覆铜板的铜面形成第二线路图形面,第二线路图形面与位于最外层的芯板的第一线路图形外侧面相嵌;在第二线路图形面制作离型层;芯板之间设置半固化片,第一线路图形外侧面由内往外依次层叠半固化片、铜箔、铝片和工具板,工具板上的第二线路图形面与最外层的芯板上的第一线路图形外侧面在嵌合方向上对齐,加热叠板后的芯板并压合;去除压合板上的铆钉和粘连的树脂,拆除工具板和铝片,该方法在厚铜PCB上制得低厚度的介质层,具有容易操作、节省树脂成本。