共集成的垂直构造的电容性元件以及制造过程

    公开(公告)号:CN112420609A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202010843230.X

    申请日:2020-08-20

    Abstract: 在此公开了共集成的垂直构造的电容性元件以及制造过程。在半导体衬底中形成第一阱和第二阱。分别在第一和第二阱中的第一和第二沟槽各自垂直延伸并且包括由第一绝缘层绝缘的中心导体。在半导体衬底的顶表面上形成第二绝缘层。选择性地减薄第二沟槽之上的第二绝缘层。多晶硅层被沉积在第二绝缘层上,并且然后被光刻图案化以形成:第一阱之上的第一多晶硅部分,其电连接到第一沟槽的中心导体以形成第一电容器板,第二电容器板由第一阱形成;以及第二阱之上的第二多晶硅部分,其形成存储器单元的浮置栅极晶体管的浮置栅极电极,存储器单元具有存取晶体管,存取晶体管的控制栅极由第二沟槽的中心导体形成。

Patent Agency Ranking