含纳米气泡的无机氧化物微粒及包含其的研磨剂

    公开(公告)号:CN110603307B

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201880030025.2

    申请日:2018-05-21

    Abstract: 本发明的课题在于提供在作为研磨剂使用的工序中浓缩稳定性优异的含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液。通过一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液来解决上述课题,所述含纳米气泡的无机氧化物微粒包含:无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体为选自N2及H2中的至少一者。

    含纳米气泡的无机氧化物微粒及包含其的研磨剂

    公开(公告)号:CN110603307A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201880030025.2

    申请日:2018-05-21

    Abstract: 本发明的课题在于提供在作为研磨剂使用的工序中浓缩稳定性优异的含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液。通过一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液来解决上述课题,所述含纳米气泡的无机氧化物微粒包含:无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体为选自N2及H2中的至少一者。

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