原子束源
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106664790B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

    蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置

    公开(公告)号:CN101754838B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200880025207.7

    申请日:2008-07-18

    CPC classification number: B28B11/006 B28B11/007 Y10T156/12

    Abstract: 一种具有孔眼密封部的蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置,可缩短制造时间,从而可削减制造成本。在将蜂窝状构造体(1)定位于具有可插入蜂窝状构造体(1)端面部的贯通孔(11h)的台部(11)的状态下,将膜片(25)粘贴在蜂窝状构造体(1)的端面(8)上,并且做成膜片(25)的未粘贴在端面(8)上的剩余部分被粘贴在台部(11)上的状态,从而以平坦的状态保持膜片(25),通过在膜片(25)上形成与一部分网孔(3)的开口相对应的开口孔而将膜片(25)做成掩膜,利用孔眼密封材料供给装置(23)将具有流动性的孔眼密封材料(31)供给到该掩膜上或掩膜的同一平面上,然后利用孔眼密封装置(24)将孔眼密封材料(31)充填到蜂窝状构造体(1)的网孔(3)内。

    原子束源
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106664790A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    CPC classification number: G21K5/00 G21K5/02 H05H1/46 H05H3/02

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

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