公开(公告)号：CN104445869A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410544913.X

申请日：2007-08-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 栉谷英树 ,  河口年安 ,  浦田新吾 ,  伊藤肇 ,  斋藤健太

IPC: C03B5/225

CPC classification number: C03B5/2252 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供在不发生暴沸的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、在不由于泡层的膨大而发生玻璃制品中的气泡残存的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、抑制熔融玻璃中的特定的成分(硼等)的挥散而进行减压脱泡的玻璃制造方法。通过减压脱泡槽对熔融玻璃进行减压脱泡的工序中，使减压脱泡槽的气氛气体的水蒸气浓度达到60mol％以下的玻璃制造方法。

公开(公告)号：CN104445869B

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201410544913.X

申请日：2007-08-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 栉谷英树 ,  河口年安 ,  浦田新吾 ,  伊藤肇 ,  斋藤健太

IPC: C03B5/225

CPC classification number: C03B5/2252 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供在不发生暴沸的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、在不由于泡层的膨大而发生玻璃制品中的气泡残存的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、抑制熔融玻璃中的特定的成分(硼等)的挥散而进行减压脱泡的玻璃制造方法。通过减压脱泡槽对熔融玻璃进行减压脱泡的工序中,使减压脱泡槽的气氛气体的水蒸气浓度达到60mol%以下的玻璃制造方法。

公开(公告)号：CN101506109A

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：CN200780031310.8

申请日：2007-08-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 栉谷英树 ,  河口年安 ,  浦田新吾 ,  伊藤肇 ,  斋藤健太

IPC: C03B5/225 ,  C03C3/091

CPC classification number: C03B5/2252 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供在不发生暴沸的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、在不由于泡层的膨大而发生玻璃制品中的气泡残存的情况下进行减压脱泡的玻璃制造方法、抑制熔融玻璃中的特定的成分(硼等)的挥散而进行减压脱泡的玻璃制造方法。通过减压脱泡槽对熔融玻璃进行减压脱泡的工序中，使减压脱泡槽的气氛气体的水蒸气浓度达到60mol％以下的玻璃制造方法。

公开(公告)号：CN101959820A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106555.1

申请日：2009-02-26

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  斋藤健太 ,  邵龙 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C4/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/70 ,  C03B2207/81 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。