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公开(公告)号：CN112701194A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011595645.6
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/0216 , H01L31/072
摘要： 本发明公开了一种异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升，从而提升电池片的短路电流，将电池背面膜层的方块电阻降低，从而获得高的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN112652679A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011462397.8
申请日：2020-12-11
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/673 , C23C16/458 , C23C16/54
摘要： 本发明公开了一种板式TCO镀膜载板结构，包括基座和多个载板；基座具有多个载台；多个载板分别固定在多个载台上部。本发明通过将大尺寸载板分成若干个小尺寸载板，并分别安装固定在分割为多个载台的基座上，能够降低TCO镀膜过程中载板形变风险，增加抗性，同时减少TCO镀膜载板喷砂维护运输成本。
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公开(公告)号：CN112466978A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011262779.6
申请日：2020-11-12
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/0747 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种晶硅/非晶硅异质结电池的电池结构包括：单晶硅片基底；单晶硅片基底正面依次生长本征非晶硅薄膜、掺杂非晶硅薄膜和透明导电薄膜；单晶硅片基底背面依次生长本征非晶硅薄膜、掺杂非晶硅薄膜和透明导电薄膜；透明导电薄膜上均设有金属电极。本发明在不影响HJT电池的电池结构情况下，通过使用管式PECVD进行本征非晶硅薄膜的制备，在一定的工艺条件下使其Eta可以接近板式PECVD制备的本征非晶硅薄膜电池Eta，从设备及工艺两个方向达到降本的目的。本发明通过使用管式PECVD设备制备本征非晶硅层形成钝化层，使用板式PECVD设备制备n、p型掺杂非晶硅层分别形成场钝化层和p‑n结层。
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公开(公告)号：CN112466990A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011265034.5
申请日：2020-11-12
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/072
摘要： 本发明公开了一种高效异质结太阳能电池的制备工艺，包括如下步骤：用碱液对硅片进行抛光处理；对硅片进行高温及磷吸杂处理，在硅片正背表面沉积形成磷扩散层；通过碱溶液去除磷扩散层，形成硅片表面的织构化；在织构化的硅片正背面沉积非晶硅薄膜层；在非晶硅薄膜层上正背面沉积导电薄膜层；在导电薄膜层上正背面覆盖金属电极；固化金属电极；测试分选。本发明提供的一种异质结太阳能电池的制备工艺，极大程度上改善了生产过程中硅片品质问题带来的影响，从而进一步提升了异质结太阳能电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN111653644A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010513271.2
申请日：2020-06-08
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/075 , H01L31/076 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种硅基异质结太阳能电池，包括：晶硅衬底；晶硅衬底的上表面依次设置有第一本征非晶硅层、第一掺杂层、第一TCO层和第一金属电极；晶硅衬底的下表面依次设置有第二本征非晶硅层、第二掺杂层、第二TCO层和第二金属电极；制备方法：(1)得到晶硅衬底；(2)离子体化学气相沉积第一本征非晶硅层、第二本征非晶硅层、第一掺杂层和第二掺杂层；(4)沉积第一TCO层和第二TCO层，同时进行等离子体处理；(5)通过丝网印刷形成第一金属电极和第二金属电极，即得。本发明方法快速、实用、易于实现，可优化TCO和掺杂非晶硅的功能性界面接触，显著提高异质结太阳能电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN112760621A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011450582.5
申请日：2020-12-09
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： C23C16/509 , C23C16/458 , C23C16/24 , H01L31/20
摘要： 本发明公开了一种适用于HJT电池非晶硅沉积的多层PECVD设备，包括：预热腔、工艺腔和冷却腔，并依次相连通，硅片在预热腔预热后输送至所述工艺腔用于沉积非晶硅薄膜，并从所述工艺腔输送至所述冷却腔进行冷却；所述工艺腔的一个侧面设置有进气口，相对的侧面设置有尾气管路，且所述工艺腔的内部设置有至少两个电极板，所述电极板在竖直方向上平行设置，并通过绝缘块间隔相邻的两个所述电极板，相邻的两个所述电极板分别连接射频电源和零电势；所述尾气管路上至少设置有一个抽气孔；本发明为单腔多层非晶硅沉积设备，电极板在竖直方向上平行设置，形成多层结构，能够有效减小设备的占地面积，大幅度增加单台设备产能，解决了现有技术中存在的问题。
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公开(公告)号：CN108538966A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810346774.8
申请日：2018-04-18
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20
摘要： 本发明公开了一种高效异质结电池CVD后制程不良返工工艺方法。它包括以下步骤：A、将CVD后返工片利用CP槽药液进行第一次重复清洗去除非晶硅膜层；B、经过步骤A后制绒添加剂辅助下进行微制绒；C、利用PECVD工艺，在硅片上下表面沉积非晶硅膜层，厚度为8-10nm，然后再上下分别沉积掺杂非晶硅膜层；D、利用PVD/RPD工艺沉积TCO导电膜；E、利用丝网印刷技术进行金属化，形成金属电极。采用上述的方法后，将非晶硅膜层的去除与重新微制绒分开进行，巧妙地利用CP槽寿命末期药液进行非晶硅去除；然后进行短时间微制绒，这样一批返工片分两次进行清洗，即大大降低了返工成本，又保证了返工片清洗质量，同时还避免了由于清洗返工片而带来的槽体及药液污染。
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公开(公告)号：CN112768386B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202011581555.1
申请日：2020-12-28
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板，包括：碳纤维基础载板和石墨拼接载板；所述碳纤维基础载板的中部设置限位结构；所述石墨拼接载板的顶部设置硅片承托单元，安装在所述碳纤维基础载板的中部的所述限位结构上；将石墨载板优异导热性与碳纤维载板(CFC)硬度大优点相结合，通过拼接组装后得到了石墨‑碳纤维载板，有效的规避整块石墨载板经济性差、碳纤维导热性差等问题；通过组装拼接组成，具有可操作性强，结构稳定、易搬运的特性。
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公开(公告)号：CN112701194B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202011595645.6
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/0216 , H01L31/072
摘要： 本发明公开了一种异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升，从而提升电池片的短路电流，将电池背面膜层的方块电阻降低，从而获得高的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN112768386A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011581555.1
申请日：2020-12-28
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板，包括：碳纤维基础载板和石墨拼接载板；所述碳纤维基础载板的中部设置限位结构；所述石墨拼接载板的顶部设置硅片承托单元，安装在所述碳纤维基础载板的中部的所述限位结构上；将石墨载板优异导热性与碳纤维载板(CFC)硬度大优点相结合，通过拼接组装后得到了石墨‑碳纤维载板，有效的规避整块石墨载板经济性差、碳纤维导热性差等问题；通过组装拼接组成，具有可操作性强，结构稳定、易搬运的特性。
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