一种适用于HJT电池非晶硅沉积的多层PECVD设备

    公开(公告)号:CN112760621A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202011450582.5

    申请日:2020-12-09

    摘要: 本发明公开了一种适用于HJT电池非晶硅沉积的多层PECVD设备,包括:预热腔、工艺腔和冷却腔,并依次相连通,硅片在预热腔预热后输送至所述工艺腔用于沉积非晶硅薄膜,并从所述工艺腔输送至所述冷却腔进行冷却;所述工艺腔的一个侧面设置有进气口,相对的侧面设置有尾气管路,且所述工艺腔的内部设置有至少两个电极板,所述电极板在竖直方向上平行设置,并通过绝缘块间隔相邻的两个所述电极板,相邻的两个所述电极板分别连接射频电源和零电势;所述尾气管路上至少设置有一个抽气孔;本发明为单腔多层非晶硅沉积设备,电极板在竖直方向上平行设置,形成多层结构,能够有效减小设备的占地面积,大幅度增加单台设备产能,解决了现有技术中存在的问题。

    异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板

    公开(公告)号:CN218910507U

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202223262496.9

    申请日:2022-12-06

    摘要: 本实用新型涉及一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板,属于电池生产技术领域。包括承载层、加热层和放片层,承载层、加热层和放片层从下至上依次连接,所述加热层上开设有加热丝放置槽,加热丝放置槽中安装有加热丝,加热丝两端分别连接直流电源的正极接线端和负极接线端,放片层上均匀开设有若干个用于放置制绒后硅片的硅片放置槽。通过设置从下至上依次连接的承载层、加热层和放片层,并在加热层上开设的加热丝放置槽中安装加热丝,提供了一种异质结电池非晶硅薄膜沉积的自热式载板,该载板具有加热功能使载板在生产过程中能够保持所需要的温度,不但不影响生产节奏,节省硅烷和氢气等气体,还会提高异质结电池的生产良率和效率。

    新型异质结电池
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218602440U

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202222968859.4

    申请日:2022-11-08

    IPC分类号: H01L31/0216 H01L31/0747

    摘要: 本实用新型涉及一种新型异质结电池,属于太阳能电池制造技术领域。包括N型单晶硅片,N型单晶硅片正面依次沉积有正面本征非晶层薄膜、正面SiO2层、正面掺杂层薄膜、正面不含氧透明导电薄膜层、正面含氧透明导电薄膜层和正面金属栅线层,N型单晶硅片背面依次沉积有背面本征非晶层薄膜、背面SiO2层、背面掺杂层薄膜、背面不含氧透明导电薄膜层、背面含氧透明导电薄膜层和背面金属栅线层。SiO2层可以提高电池在长波段光强的吸收,提高电池的短路电流,有效对非晶硅层表面断键进行钝化;通过引入不含氧透明导电薄膜层,可以大幅增强电池片的钝化效果,增大电池的开路电压和短路电流,使异质结电池的效率得到提高。

    异质结太阳能电池
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218918901U

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202222800600.9

    申请日:2022-10-24

    摘要: 本实用新型涉及一种异质结太阳能电池,属于太阳能电池制造技术领域。包括晶硅衬底,晶硅衬底正面依次沉积有正面本征非晶硅层、N型掺杂层、正面TCO层和正面金属电极;晶硅衬底背面依次沉积有背面本征非晶硅层、P型掺杂层、背面TCO层和背面金属电极,正面金属电极中的细栅电极和未被金属电极遮挡的正面TCO层上面覆盖有复合光学增强膜,复合光学增强膜由从下至上依次沉积的含有下转换荧光材料的功能性薄膜、第一减反射和第二减反射层组成。通过减反射层的设置能有效增强陷光作用,提升光学电流;又通过含有下转换荧光材料的功能性薄膜,促进了电池对太阳光照的吸收利用,提升了异质结太阳能电池的转换效率。