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公开(公告)号：CN1680620A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200410092935.3
申请日：2002-04-22
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/22 , G02B1/10 , G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337 , B32B23/00 , B32B23/08
CPC分类号： B05D1/62 , C23C16/509 , C23C16/545 , Y02T50/67
摘要： 一种形成一个第一层的方法，包括：使一个基片的表面或提供在一个基片上的一个第二层经受等离子放电处理，以便在向形成于彼此相对的一个第一电极与一个第二电极之间的一个间隙供给反应气体的同时，在大气压力下或近似在大气压力下在该间隙处形成所述第一层，其中基片在23℃和80％RH下具有不大于4％的含水量。
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公开(公告)号：CN100469944C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200410092935.3
申请日：2002-04-22
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/22 , G02B1/10 , G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337 , B32B23/00 , B32B23/08
CPC分类号： B05D1/62 , C23C16/509 , C23C16/545 , Y02T50/67
摘要： 一种形成一个第一层的方法，包括：使一个基片的表面或提供在一个基片上的一个第二层经受等离子放电处理，以便在向形成于彼此相对的一个第一电极与一个第二电极之间的一个间隙供给反应气体的同时，在大气压力下或近似在大气压力下在该间隙处形成所述第一层，其中基片在23℃和80%RH下具有不大于4%的含水量。
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公开(公告)号：CN100354453C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN03107624.6
申请日：2003-03-21
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C8/36 , H05H1/46 , H01L21/31 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/545 , C23C16/453 , C23C16/505 , H05H1/46 , H05H2001/466 , H05H2001/485 , H05H2240/10
摘要： 本发明公开了一种层形成方法，包括将气体供给至放电空间，通过施加高频电场穿过放电空间而在大气压或在约大气压下激发供给的气体，和将基材暴露于激发气体，其中高频电场是其中第一高频电场和第二高频电场重叠的电场，第二高频电场的频率ω2高于第一高频电场的频率ω1，第一高频电场的强度V1，第二高频电场的强度V2和放电开始电场的强度IV满足关系V1≥IV＞V2或V1＞IV≥V2，和第二高频电场的功率密度不低于1W/cm2。
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公开(公告)号：CN1407131A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN02116163.1
申请日：2002-04-22
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54 , B32B23/00 , G02B17/08 , G02F1/1335 , G02F1/1337
CPC分类号： B05D1/62 , C23C16/509 , C23C16/545 , Y02T50/67
摘要： 公开了一种形成一层或多层的方法，该方法包括步骤：把一个具有一个第一表面和一个在相对第一表面的侧上的第二表面的基片，运送到在彼此面对着的一个第一电极与一个第二电极之间形成的一个间隙，第二表面具有不大于0.9的动摩擦系数；和使基片的第一表面经受等离子放电处理，以在大气压力下或近似在大气压力下在向间隙供给活性气体的同时形成该层。
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公开(公告)号：CN1398305A
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：CN01804728.9
申请日：2001-12-06
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/505 , G02B1/10
CPC分类号： G02B1/11 , C23C4/10 , C23C4/18 , C23C16/402 , C23C16/405 , C23C16/509 , C23C16/5093 , C23C16/545 , G02B1/10 , G02B1/115 , G02B1/14 , G02B1/16 , G02B1/18 , H01J37/32532
摘要： 一种薄膜形成方法，其特征在于：通过在大气压或大气压附近的压力下，在对置的两种电极之间，以超过10kHz的高频电压供给1W/cm2以上的电力而放电，使反应性气体成为等离子态，通过在上述等离子态的反应性气体中暴露衬底，在上述衬底上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN1272467C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN02116163.1
申请日：2002-04-22
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54 , B32B23/00 , G02B17/08 , G02F1/1335 , G02F1/1337
CPC分类号： B05D1/62 , C23C16/509 , C23C16/545 , Y02T50/67
摘要： 公开了一种形成一层或多层的方法，该方法包括步骤：把一个具有一个第一表面和一个在相对第一表面的侧上的第二表面的基片，运送到在彼此面对着的一个第一电极与一个第二电极之间形成的一个间隙，第二表面具有不大于0.9的动摩擦系数；和使基片的第一表面经受等离子放电处理，以在大气压力下或近似在大气压力下在向间隙供给活性气体的同时形成该层。
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公开(公告)号：CN1467302A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN03107624.6
申请日：2003-03-21
申请人： 柯尼卡株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C8/36 , H05H1/46 , H01L21/31 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/545 , C23C16/453 , C23C16/505 , H05H1/46 , H05H2001/466 , H05H2001/485 , H05H2240/10
摘要： 本发明公开了一种层形成方法，包括将气体供给至放电空间，通过施加高频电场穿过放电空间而在大气压或在约大气压下激发供给的气体，和将基材暴露于激发气体，其中高频电场是其中第一高频电场和第二高频电场重叠的电场，第二高频电场的频率ω2高于第一高频电场的频率ω1，第一高频电场的强度V1，第二高频电场的强度V2和放电开始电场的强度IV满足关系V1≥IV＞V2或V1＞IV≥V2，和第二高频电场的功率密度不低于1W/cm2。
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