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公开(公告)号：CN101083151A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710138848.0
申请日：2007-05-24
申请人： 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人大阪大学
摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
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公开(公告)号：CN100578679C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200710138848.0
申请日：2007-05-24
申请人： 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人大阪大学
摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
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公开(公告)号：CN101606051B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200880002061.4
申请日：2008-01-07
申请人： 国立大学法人大阪大学 , 株式会社岛津制作所
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q30/04 , Y10S977/863
摘要： 本发明提供一种原子间力显微镜以及采用该原子间力显微镜的相互作用力测定方法。由FM-AFM得到的频率偏移Δf，能够由由来于远距离相互作用力的ΔfLR和由来于短距离相互作用力的ΔfSR的简单的线形结合来表示。在此，仅对比较短的距离范围来分别测定试料表面的原子缺陷上的Δf曲线和目的原子上的Δf曲线(S1、S2)，求出两者的差分Δf曲线(S3)。差分Δf曲线只由来于短距离相互作用力，因此在此适用公知的变换处理来求出表示力和距离Z之间的关系的F曲线，据此得到目的原子上的短距离相互作用力(S4)。由于能够缩小Δf曲线测定时的距离范围，因此能够缩短测定时间，Δf曲线→F曲线的变换一次就结束，因此运算时间也能缩短。由此，在求出在试料表面的原子和探针之间起作用的短距离相互作用力时，缩短Δf曲线的测定所需要的时间以及运算时间，实现精度提高，并且能够提高处理能力。
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公开(公告)号：CN101606051A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200880002061.4
申请日：2008-01-07
申请人： 国立大学法人大阪大学 , 株式会社岛津制作所
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q30/04 , Y10S977/863
摘要： 本发明提供一种原子间力显微镜以及采用该原子间力显微镜的相互作用力测定方法。由FM－AFM得到的频率偏移Δf，能够由由来于远距离相互作用力的ΔfLR和由来于短距离相互作用力的ΔfSR的简单的线形结合来表示。在此，仅对比较短的距离范围来分别测定试料表面的原子缺陷上的Δf曲线和目的原子上的Δf曲线(S1、S2)，求出两者的差分Δf曲线(S3)。差分Δf曲线只由来于短距离相互作用力，因此在此适用公知的变换处理来求出表示力和距离Z之间的关系的F曲线，据此得到目的原子上的短距离相互作用力(S4)。由于能够缩小Δf曲线测定时的距离范围，因此能够缩短测定时间，Δf曲线→F曲线的变换一次就结束，因此运算时间也能缩短。由此，在求出在试料表面的原子和探针之间起作用的短距离相互作用力时，缩短Δf曲线的测定所需要的时间以及运算时间，实现精度提高，并且能够提高处理能力。
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公开(公告)号：CN101377460B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200810129971.0
申请日：2008-07-30
申请人： 株式会社岛津制作所
IPC分类号： G01N13/10
摘要： 一种液体中试料的分析方法，其能够容易且可靠地防止分析用液体的蒸发。当使用扫描式探针显微镜来对液体中的试料进行观察时，使浸渍着试料(13)以及探针(15)的分析用液体(16)的周围充满不会与分析用液体(16)混合的密闭用液体(17)，借此形成分析用液体(16)与外部气体隔离的密闭状态，所述扫描式探针显微镜使设置在悬臂(14)前端的探针(15)接近浸渍在液体中的试料(13)的表面，对此试料表面进行扫描，检测试料(13)与探针(15)之间的相互作用并形成图像。
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公开(公告)号：CN101377460A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810129971.0
申请日：2008-07-30
申请人： 株式会社岛津制作所
IPC分类号： G01N13/10
摘要： 一种液体中试料的分析方法，其能够容易且可靠地防止分析用液体的蒸发。当使用扫描式探针显微镜来对液体中的试料进行观察时，使浸渍着试料(13)以及探针(15)的分析用液体(16)的周围充满不会与分析用液体(16)混合的密闭用液体(17)，借此形成分析用液体(16)与外部气体隔离的密闭状态，所述扫描式探针显微镜使设置在悬臂(14)前端的探针(15)接近浸渍在液体中的试料(13)的表面，对此试料表面进行扫描，检测试料(13)与探针(15)之间的相互作用并形成图像。
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