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    原子力显微镜以及采用原子力显微镜的相互作用力测定方法
    1.
    发明公开
    原子力显微镜以及采用原子力显微镜的相互作用力测定方法 失效

    公开(公告)号：CN101606051A

    公开(公告)日：2009-12-16

    申请号：CN200880002061.4

    申请日：2008-01-07

    申请人： 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社岛津制作所

    发明人： 大田昌弘 ,  大薮范昭 ,  阿部真之 ,  卡斯坦斯·奥斯卡 ,  杉本宜昭 ,  森田清三

    IPC分类号： G01N13/16

    CPC分类号： G01Q60/32 ,  G01Q30/04 ,  Y10S977/863

    摘要： 本发明提供一种原子间力显微镜以及采用该原子间力显微镜的相互作用力测定方法。由FM－AFM得到的频率偏移Δf，能够由由来于远距离相互作用力的ΔfLR和由来于短距离相互作用力的ΔfSR的简单的线形结合来表示。在此，仅对比较短的距离范围来分别测定试料表面的原子缺陷上的Δf曲线和目的原子上的Δf曲线(S1、S2)，求出两者的差分Δf曲线(S3)。差分Δf曲线只由来于短距离相互作用力，因此在此适用公知的变换处理来求出表示力和距离Z之间的关系的F曲线，据此得到目的原子上的短距离相互作用力(S4)。由于能够缩小Δf曲线测定时的距离范围，因此能够缩短测定时间，Δf曲线→F曲线的变换一次就结束，因此运算时间也能缩短。由此，在求出在试料表面的原子和探针之间起作用的短距离相互作用力时，缩短Δf曲线的测定所需要的时间以及运算时间，实现精度提高，并且能够提高处理能力。

    探针位置控制系统和方法
    2.
    发明授权
    探针位置控制系统和方法 有权

    公开(公告)号：CN100578679C

    公开(公告)日：2010-01-06

    申请号：CN200710138848.0

    申请日：2007-05-24

    申请人： 株式会社岛津制作所 ,  国立大学法人大阪大学

    发明人： 阿部真之 ,  大田昌弘 ,  杉本宜昭 ,  森田健一 ,  大薮范昭 ,  森田清三 ,  卡斯坦斯·奥斯卡

    IPC分类号： G12B21/20 ,  G01N13/10

    CPC分类号： G01Q30/06 ,  G01Q70/04

    摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。

    原子间力显微镜以及采用原子间力显微镜的相互作用力测定方法
    3.
    发明授权
    原子间力显微镜以及采用原子间力显微镜的相互作用力测定方法 失效

    公开(公告)号：CN101606051B

    公开(公告)日：2011-12-28

    申请号：CN200880002061.4

    申请日：2008-01-07

    申请人： 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社岛津制作所

    发明人： 大田昌弘 ,  大薮范昭 ,  阿部真之 ,  卡斯坦斯·奥斯卡 ,  杉本宜昭 ,  森田清三

    IPC分类号： G01N13/16

    CPC分类号： G01Q60/32 ,  G01Q30/04 ,  Y10S977/863

    摘要： 本发明提供一种原子间力显微镜以及采用该原子间力显微镜的相互作用力测定方法。由FM-AFM得到的频率偏移Δf，能够由由来于远距离相互作用力的ΔfLR和由来于短距离相互作用力的ΔfSR的简单的线形结合来表示。在此，仅对比较短的距离范围来分别测定试料表面的原子缺陷上的Δf曲线和目的原子上的Δf曲线(S1、S2)，求出两者的差分Δf曲线(S3)。差分Δf曲线只由来于短距离相互作用力，因此在此适用公知的变换处理来求出表示力和距离Z之间的关系的F曲线，据此得到目的原子上的短距离相互作用力(S4)。由于能够缩小Δf曲线测定时的距离范围，因此能够缩短测定时间，Δf曲线→F曲线的变换一次就结束，因此运算时间也能缩短。由此，在求出在试料表面的原子和探针之间起作用的短距离相互作用力时，缩短Δf曲线的测定所需要的时间以及运算时间，实现精度提高，并且能够提高处理能力。

    探针位置控制系统和方法
    4.
    发明公开
    探针位置控制系统和方法 有权

    公开(公告)号：CN101083151A

    公开(公告)日：2007-12-05

    申请号：CN200710138848.0

    申请日：2007-05-24

    申请人： 株式会社岛津制作所 ,  国立大学法人大阪大学

    发明人： 阿部真之 ,  大田昌弘 ,  杉本宜昭 ,  森田健一 ,  大薮范昭 ,  森田清三 ,  卡斯坦斯·奥斯卡

    IPC分类号： G12B21/20 ,  G01N13/10

    CPC分类号： G01Q30/06 ,  G01Q70/04

    摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。

    扫描仪及扫描型探针显微镜
    5.
    发明授权
    扫描仪及扫描型探针显微镜 有权

    公开(公告)号：CN110178038B

    公开(公告)日：2021-09-21

    申请号：CN201780082870.X

    申请日：2017-12-07

    申请人： 国立大学法人大阪大学

    发明人： 山下隼人 ,  阿部真之

    IPC分类号： G01Q10/04 ,  G01Q10/02

    摘要： 本发明提供一种能够使大范围的测量和高速、高精度的测量同时实现的扫描仪。该扫描仪包括：外框；第1内框，其配置在外框的内侧；广域Y驱动器，其用于使第1内框相对于外框在Y方向上相对地移动；第2内框，其配置在第1内框的内侧；广域X驱动器，其用于使第2内框相对于第1内框在与Y方向正交的X方向上相对地移动；第3内框，其配置在第2内框的内侧；狭域Y驱动器，其用于使第3内框相对于第2内框在Y方向上相对地移动；可动基座，其配置在第3内框的内侧；以及狭域X驱动器，其用于使可动基座相对于第3内框在X方向上相对地移动。

    扫描仪及扫描型探针显微镜
    6.
    发明公开
    扫描仪及扫描型探针显微镜 有权

    公开(公告)号：CN110178038A

    公开(公告)日：2019-08-27

    申请号：CN201780082870.X

    申请日：2017-12-07

    申请人： 国立大学法人大阪大学

    发明人： 山下隼人 ,  阿部真之

    IPC分类号： G01Q10/04 ,  G01Q10/02

    摘要： 本发明提供一种能够使大范围的测量和高速、高精度的测量同时实现的扫描仪。该扫描仪包括：外框；第1内框，其配置在外框的内侧；广域Y驱动器，其用于使第1内框相对于外框在Y方向上相对地移动；第2内框，其配置在第1内框的内侧；广域X驱动器，其用于使第2内框相对于第1内框在与Y方向正交的X方向上相对地移动；第3内框，其配置在第2内框的内侧；狭域Y驱动器，其用于使第3内框相对于第2内框在Y方向上相对地移动；可动基座，其配置在第3内框的内侧；以及狭域X驱动器，其用于使可动基座相对于第3内框在X方向上相对地移动。

    电路中的电位、电流以及周边电磁场的计算方法以及计算机可读存储介质
    7.
    发明授权
    电路中的电位、电流以及周边电磁场的计算方法以及计算机可读存储介质 有权

    公开(公告)号：CN108027846B

    公开(公告)日：2021-07-27

    申请号：CN201680053736.2

    申请日：2016-06-15

    申请人： 国立大学法人大阪大学

    发明人： 阿部真之 ,  土岐博

    IPC分类号： G06F30/30 ,  G01R29/08 ,  G06F17/12 ,  G06F17/13

    摘要： 使得能够全面地计算电路中的传输线路的电位和电流、元件的电位和电流以及从该电路产生的包含噪声的电磁场。计算机执行以下步骤：电路结构输入步骤，输入分布常数电路和集总常数电路的电路结构以及各变量的初始值；以及计算步骤，在电路结构和初始值下，对于传输理论的基础方程式，使用作为分布常数电路与集总常数电路的边界的x＝0和w处的边界条件式来进行求解，由此得到多导体传输线路中的标势和电流、元件处的标势和电压以及电磁辐射量。