公开(公告)号：CN104718428A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380052997.9

申请日：2013-10-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 皆川刚 ,  广井高志 ,  吉田健之 ,  二宫拓 ,  山本琢磨 ,  新藤博之 ,  福永文彦 ,  丰田康隆 ,  筱田伸一

IPC: G01B15/04 ,  G01N21/956 ,  G01N23/225 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01B2210/56 ,  G06K9/4604 ,  G06K9/52 ,  G06T7/0002 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/30168 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。

公开(公告)号：CN104718428B

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201380052997.9

申请日：2013-10-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 皆川刚 ,  广井高志 ,  吉田健之 ,  二宫拓 ,  山本琢磨 ,  新藤博之 ,  福永文彦 ,  丰田康隆 ,  筱田伸一

IPC: G01B15/04 ,  G01N21/956 ,  G01N23/225 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01B2210/56 ,  G06K9/4604 ,  G06K9/52 ,  G06T7/0002 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/30168 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。

公开(公告)号：CN104919307A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201480005238.1

申请日：2014-01-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 牛场郭介 ,  皆川刚

IPC: G01N23/225 ,  G01B11/24 ,  G01B15/04 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/8887 ,  G06K9/00 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/0337 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明的图案评价装置具备：模型推定部，其根据检查图像推定由制作方法引起的模型；变形量推定部，其使用推定出的模型来推定所述检查图像的变形量；基准数据变形部，其使用推定出的变形量使所述基准数据变形；以及评价部，其将通过基准数据变形部变形后的基准数据与检查图像进行比较来执行评价处理。

公开(公告)号：CN104919307B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201480005238.1

申请日：2014-01-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 牛场郭介 ,  皆川刚

IPC: G01N23/225 ,  G01B11/24 ,  G01B15/04 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/8887 ,  G06K9/00 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/0337 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明的图案评价装置具备：模型推定部，其根据检查图像推定由制作方法引起的模型；变形量推定部，其使用推定出的模型来推定所述检查图像的变形量；基准数据变形部，其使用推定出的变形量使所述基准数据变形；以及评价部，其将通过基准数据变形部变形后的基准数据与检查图像进行比较来执行评价处理。