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公开(公告)号：CN104040023A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201380005648.1
申请日：2013-01-15
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
摘要： 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜，并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有：清洗室(20a～20d)，其构成为若打开闸门(22a～22d)则连接于成膜空间(16)，若关闭闸门(22a～22d)则与成膜空间(16)分离，并且对内部空间放出清洗气体；移动单元(28a～28d)，其使放出装置(13a～13d)在清洗室(20a～20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动；以及控制装置(18)，其使放出装置(13a～13d)移动至成膜位置时放出原料气体，在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a～22d)并使清洗室(20a～20d)内充满清洗气体。
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公开(公告)号：CN101501242B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200780029292.X
申请日：2007-07-26
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , B05C1/0821 , B05C1/083 , B05C1/0834 , C23C14/562 , H01G13/00 , H01G13/006
摘要： 提供一种能够容易且迅速进行印刷辊与支承辊之间按压力调整的卷绕式真空成膜装置。本发明中，通过包含有印刷辊(33)及转印辊(32)的掩模形成单元(20)相对于真空室(11)的相对移动而进行印刷辊(33)与支承辊(21)之间的按压力调整，所以不需要个别调整印刷辊(33)及转印辊(32)，实现单元单位的按压力调整，从而可以实现结构的简单化和作业的简易化、高精度化，并缩短作业时间。
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公开(公告)号：CN101501239A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780030031.X
申请日：2007-09-28
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , B05C1/0834 , B41F31/002 , B41F31/15 , C23C14/562
摘要： 抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32)，并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。
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公开(公告)号：CN104040023B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201380005648.1
申请日：2013-01-15
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
摘要： 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜，并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有：清洗室(20a～20d)，其构成为若打开闸门(22a～22d)则连接于成膜空间(16)，若关闭闸门(22a～22d)则与成膜空间(16)分离，并且对内部空间放出清洗气体；移动单元(28a～28d)，其使放出装置(13a～13d)在清洗室(20a～20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动；以及控制装置(18)，其使放出装置(13a～13d)移动至成膜位置时放出原料气体，在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a～22d)并使清洗室(20a～20d)内充满清洗气体。
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公开(公告)号：CN101501239B
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN200780030031.X
申请日：2007-09-28
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , B05C1/0834 , B41F31/002 , B41F31/15 , C23C14/562
摘要： 抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32)，并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。
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公开(公告)号：CN101501242A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029292.X
申请日：2007-07-26
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , B05C1/0821 , B05C1/083 , B05C1/0834 , C23C14/562 , H01G13/00 , H01G13/006
摘要： 提供一种能够容易且迅速进行印刷辊与支承辊之间按压力调整的卷绕式真空成膜装置。本发明中，通过包含有印刷辊(33)及转印辊(32)的掩模形成单元(20)相对于真空室(11)的相对移动而进行印刷辊(33)与支承辊(21)之间的按压力调整，所以不需要个别调整印刷辊(33)及转印辊(32)，实现单元单位的按压力调整，从而可以实现结构的简单化和作业的简易化、高精度化，并缩短作业时间。
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