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公开(公告)号:CN111065874B
公开(公告)日:2020-12-29
申请号:CN201980004028.3
申请日:2019-03-28
申请人: 株式会社爱发科
摘要: 本发明实现在短时间内真空冻结干燥以及降低成本。真空冻结干燥装置具有喷雾部、管部、加热部以及收集部。上述喷雾部将原料液向真空容器内喷雾。上述管部为非直线状,具有第一开口端和第二开口端,上述原料液向上述真空容器内喷雾而形成的液滴自冻结而形成的冻结颗粒被上述第一开口端捕捉。上述加热部通过将冻结颗粒在上述管部内加热来使冻结颗粒升华干燥,上述冻结颗粒通过在喷雾时获得的动能而在上述管部内从上述第一开口端朝向上述第二开口端移动。上述收集部收集干燥颗粒,上述干燥颗粒通过上述冻结颗粒在上述管部内升华干燥而形成,并从上述管部的上述第二开口端被释放。
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公开(公告)号:CN110352327A
公开(公告)日:2019-10-18
申请号:CN201880011007.X
申请日:2018-02-08
申请人: 株式会社爱发科 , 国立大学法人岩手大学
摘要: 本发明提供一种干燥效率高的真空干燥装置和方法。腔室(110)具有入口(114)和出口(115),并具有能够收容食材(111)的处理空间。水蒸气供给管线(161)与入口(114)连接,并构成为能够向处理空间供给水蒸气。排气管线(162)与出口(115)连接,并构成为能够对处理空间进行真空排气。循环管线(163)设置在腔室(110)的外部,并使水蒸气从出口(115)回流至入口(114)。加压加热单元(130)设置在循环管线(163),并具有将水蒸气加压至第一压力的加压部(131)和对加压至第一压力的水蒸气进行加热的加热部(132)。
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公开(公告)号:CN110352327B
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201880011007.X
申请日:2018-02-08
申请人: 株式会社爱发科 , 国立大学法人岩手大学
摘要: 本发明提供一种干燥效率高的真空干燥装置和方法。腔室(110)具有入口(114)和出口(115),并具有能够收容食材(111)的处理空间。水蒸气供给管线(161)与入口(114)连接,并构成为能够向处理空间供给水蒸气。排气管线(162)与出口(115)连接,并构成为能够对处理空间进行真空排气。循环管线(163)设置在腔室(110)的外部,并使水蒸气从出口(115)回流至入口(114)。加压加热单元(130)设置在循环管线(163),并具有将水蒸气加压至第一压力的加压部(131)和对加压至第一压力的水蒸气进行加热的加热部(132)。
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公开(公告)号:CN104040023B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201380005648.1
申请日:2013-01-15
申请人: 株式会社爱发科
CPC分类号: C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
摘要: 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜,并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有:清洗室(20a~20d),其构成为若打开闸门(22a~22d)则连接于成膜空间(16),若关闭闸门(22a~22d)则与成膜空间(16)分离,并且对内部空间放出清洗气体;移动单元(28a~28d),其使放出装置(13a~13d)在清洗室(20a~20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动;以及控制装置(18),其使放出装置(13a~13d)移动至成膜位置时放出原料气体,在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a~22d)并使清洗室(20a~20d)内充满清洗气体。
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公开(公告)号:CN106679338A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201610542205.1
申请日:2016-07-11
申请人: 株式会社爱发科
CPC分类号: F26B5/06 , F26B21/10 , F26B25/001
摘要: 本发明提供真空干燥装置及真空干燥方法。真空干燥装置具有:收容被干燥物的干燥室;第一脱水部,与干燥室连接,具有能凝结并捕集从被干燥物升华的水分且能被冷却至第一温度的第一捕集机构;第二脱水部,与第一脱水部独立地与干燥室连接,并具有能被冷却至低于第一温度的第二温度的第二捕集机构;第一分隔部,能使干燥室与第一脱水部选择性地连通或彼此脱离;和第二分隔部,能使干燥室与第二脱水部选择性地连通或彼此脱离。第一分隔部和第二分隔部为在清洗干燥室、第一脱水部和第二脱水部之后,将干燥室与第一脱水部连通并封闭第二脱水部以进行第一冻结干燥,之后,将干燥室与第二脱水部连通并封闭第一脱水部以进行第二冻结干燥的切换机构。
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公开(公告)号:CN102301196A
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN201080005656.2
申请日:2010-01-27
申请人: 株式会社爱发科
CPC分类号: F27D19/00 , F27B5/04 , F27B17/0016 , F27D11/12 , F27D21/0014 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/025 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/08 , G01J5/0893 , G01J5/12
摘要: 提供一种控制大型的被加热对象基板的温度的技术。在加热室(6)的内部,在辐射加热机构(14)和被加热对象基板(12)对置的区域的侧方配置有温度检测装置(20)。加热装置(2)具有加热室(6)、辐射加热机构(14)、电源装置(25)、基板保持装置(11)、控制装置(15)和温度检测装置(20)。在控制装置(15)中内置有控制程序,通过控制程序控制电源装置(25)对辐射加热机构(14)的投入电力,使其发热,以使由温度检测装置(20)具有的热电偶(21)检测到的温度测量用基板(22)的温度成为设定温度。此外,在温度检测装置(20)中紧贴配置有循环路径(23),如果通过冷却装置(29)使冷媒流到循环路径(23)中,则能够将温度测量用基板(22)的温度从设定温度冷却到初始温度。
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公开(公告)号:CN111278471A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN201880069884.2
申请日:2018-07-25
申请人: 株式会社爱发科
发明人: 吉元刚
摘要: 本发明的无菌液化气体装置包括:液化气体储存罐;原料气体供给装置,用于向所述液化气体储存罐供给原料气体;冷却装置,用于对所述液化气体储存罐内进行冷却,以使所述原料气体进行液化;供给管道,用于连接所述原料气体供给装置和所述液化气体储存罐;灭菌过滤器,设置在所述供给管道上;灭菌装置,用于通过灭菌气体对位于比所述灭菌过滤器更下游部分的灭菌区域进行灭菌;和灭菌气体去除装置,用于在灭菌之后去除所述灭菌气体。
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公开(公告)号:CN102301196B
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201080005656.2
申请日:2010-01-27
申请人: 株式会社爱发科
CPC分类号: F27D19/00 , F27B5/04 , F27B17/0016 , F27D11/12 , F27D21/0014 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/025 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/08 , G01J5/0893 , G01J5/12
摘要: 提供一种控制大型的被加热对象基板的温度的技术。在加热室(6)的内部,在辐射加热机构(14)和被加热对象基板(12)对置的区域的侧方配置有温度检测装置(20)。加热装置(2)具有加热室(6)、辐射加热机构(14)、电源装置(25)、基板保持装置(11)、控制装置(15)、和温度检测装置(20)。在控制装置(15)中内置有控制程序,通过控制程序控制电源装置(25)对辐射加热机构(14)的投入电力,使其发热,以使由温度检测装置(20)具有的热电偶(21)检测到的温度测量用基板(22)的温度成为设定温度。此外,在温度检测装置(20)中紧贴配置有循环路径(23),如果通过冷却装置(29)使冷媒流到循环路径(23)中,则能够将温度测量用基板(22)的温度从设定温度冷却到初始温度。
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公开(公告)号:CN104040023A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201380005648.1
申请日:2013-01-15
申请人: 株式会社爱发科
CPC分类号: C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
摘要: 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜,并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有:清洗室(20a~20d),其构成为若打开闸门(22a~22d)则连接于成膜空间(16),若关闭闸门(22a~22d)则与成膜空间(16)分离,并且对内部空间放出清洗气体;移动单元(28a~28d),其使放出装置(13a~13d)在清洗室(20a~20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动;以及控制装置(18),其使放出装置(13a~13d)移动至成膜位置时放出原料气体,在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a~22d)并使清洗室(20a~20d)内充满清洗气体。
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公开(公告)号:CN102334178A
公开(公告)日:2012-01-25
申请号:CN201080009467.2
申请日:2010-02-26
申请人: 株式会社爱发科
IPC分类号: H01L21/26
CPC分类号: H02M5/257 , H01L21/67115
摘要: 本发明中,即使由并联连接的加热灯构成的负载为3的倍数以外个,也能够以在一次侧没有负担的方式均等地施加电压。在负载(65)中,分为3的倍数的个数和2的倍数的个数,将三个一次绕组进行Y接线或△接线并施加三相交流电压,在多个三相变压器内的与一次绕组分别磁耦合的同一匝数的二次绕组(42)上连接3的倍数个数的负载,在斯科特变压器内的将M座一次绕组的匝数二分割的中点,连接M座一次绕组的()/2倍的匝数的T座一次绕组的一端并施加三相交流电压,在一个以上的斯科特变压器内的与M座一次绕组和T座一次绕组分别磁耦合的相同匝数的二次绕组(42)上,连接2的倍数的负载,不会出现未连接有负载(65)的二次绕组(42)。能够不增大一次侧的负担地对加热灯(15)均等地施加交流电压。
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