微系统模组不同深度硅空腔的一次刻蚀方法

    公开(公告)号:CN113880040A

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN202010635428.9

    申请日:2020-07-03

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种微系统模组不同深度硅空腔的一次刻蚀方法,包括步骤:于半导体衬底上形成上下叠置的第一光刻胶层及第二光刻胶层,形成第一刻蚀开口及第二刻蚀开口,基于形成的光刻胶图形形成初始硅空腔,去除剩余第一光刻胶层,刻蚀形成第一深度硅空腔及第二深度硅空腔。通过上述方案,本发明在半导体基底上形成上下两层光刻胶层,即第一光刻胶层及第二光刻胶层,在一次刻蚀之前形成所有不同深度空腔的光刻胶图形,刻蚀过程中,通过更换刻蚀气氛与刻蚀能量等实现上一个深度的硅空腔刻蚀与下一个深度硅空腔刻蚀前表面光胶的清洗,从而实现不同深度硅空腔的一次刻蚀,避免了深硅空腔上涂胶时光刻胶覆盖性差的问题,同时也提高了工作效率,减少污染。

    一种相控阵多波束射频接收组件

    公开(公告)号:CN110601705B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201910711918.X

    申请日:2019-08-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种相控阵多波束射频接收组件,包括:接收射频信号的第一射频同轴连接器;将射频信号放大的射频板;将放大后的射频信号并合成波束的射频多层混压板;接收射频多层混压板输出的波束的第二射频同轴连接器。本发明具有在高集成度板材同时接收多个波束进行合成处理的特点,多个波束间射频走线的交叉引入同轴微带线垂直互联结构,在射频板内层分层传输,保证了多波束可同时接收处理,且保证接收波束微波性能良好且互不干扰影响。该结构对相控阵TR组件的高度集成化和组件多波束实现具有重要的应用价值。

    一种合成单苯甲酰基奎尼酸类化合物的方法

    公开(公告)号:CN101302159B

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN200810061733.0

    申请日:2008-05-16

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种合成单取代苯甲酰基奎尼酸类化合物的方法,具有以下结构通式:其中X是一种或多种给电子和/或吸电子取代基;R1是氢,含1~8个碳的烷基,苄基,碱金属或碱土金属。合成方法是先通过缩合反应,将苯甲酸类化合物与偕二氧叉保护奎尼酸类化合物反应,生成化合物(IV);再将化合物(IV)进行水解得到目的化合物(I)。本发明方法设计合理,与传统的酰氯法制备相比,操作简单,步骤短,后处理简单,可直接由取代苯甲酸为原料,省去制备酰氯的步骤;反应条件温和,在室温下即可反应;产率较好。

    一种基于分布式声学传感的船舶速度监测方法

    公开(公告)号:CN118226076B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410664400.6

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于分布式声学传感的船舶速度监测方法。方法包括:根据船舶轨迹和海底光纤的路由选取光纤段,通过光纤段接收水下辐射噪声信号并产生后向瑞利散射光信号后传播至DAS中,解调后获得解调声信号;将解调声信号进行预处理后获得预处理声信号;将预处理声信号进行二维傅里叶变换和频率‑波数滤波后获得预处理频率‑波数谱并提取最大多普勒频移;建立船舶速度模型,将最大多普勒频移输入模型中,模型输出船舶的航行速度,完成船舶速度的监测。本发明利用现有的海底电缆光纤,结合分布式声学传感技术,能够通过高分辨率的频率‑波数分析快速有效地实现船舶速度的准确测算,实现除船舶自动识别系统AIS外的船舶速度监测。

    一种相控阵天线、天线封装结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN116885457A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310786581.5

    申请日:2023-06-29

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种相控阵天线、天线封装结构及其制作方法,所述天线封装结构包括上层PCB板、金属盖板、下层PCB板及BGA球栅阵列,上层PCB板包括多个天线辐射单元、同轴馈电柱、射频连接链路、金属屏蔽腔、MMIC芯片及第一焊盘;金属盖板覆盖金属屏蔽腔开口,以实现MMIC芯片的金属屏蔽;下层PCB板中的第二焊盘分别与功分网络结构及波控数据分发网络电连接;BGA球栅阵列中的多个焊球分别与第一焊盘及第二焊盘电连接,以实现上层PCB板与下层PCB板相级联。本发明通过上层PCB板与下层PCB板分体设计减少了天线封装结构的各结构间进行加工时的层叠数量及压合次数,在保证所述天线封装结构的良率的同时降低了生产成本。

    高速栅极脉冲调制电路及射频功率放大器

    公开(公告)号:CN110380709B

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN201910630251.0

    申请日:2019-07-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有负电上电时序保护功能的高速栅极脉冲调制电路及射频功率放大器,该电路包括:电压转换电路、脉冲开关电路、电压比较电路、漏极供电电路;电压转换电路的输出端与脉冲开关电路的输入端连接,脉冲开关电路的输出端与电压比较电路的输入端连接,电压比较电路的输出端与漏极供电电路的输入端连接。在通信系统中射频功率放大器是不可或缺的关键部件,尤其是在雷达领域,对其的控制与上电保护是应用射频功率放大器的关键。本发明在负电上电之前或者负电过高的情况下,漏极始终保持断开,避免了氮化镓晶体管烧坏的风险,可靠性高,并且实现了高速脉冲调制,具有频率高、占空比小的优点,进一步提升了调制的精度与速率。

    绿原酸及其衍生物的合成方法

    公开(公告)号:CN101293832A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810062484.7

    申请日:2008-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种绿原酸及其衍生物的合成方法,是由苯烯丙酸类化合物(II)与偕二氧叉保护奎尼酸类化合物(III)在搅拌条件下、在缩合剂二环己基碳二亚胺及其类似物和有机碱的催化下、在有机溶剂中,于温度0~100℃及反应时间1~72小时反应后,再在稀释的酸溶液中,于温度0~100℃及反应时间1~72小时进行水解得到。本发明方法设计合理,与传统的酰氯法制备方法相比,本发明操作简单,反应步骤短,后处理简单,产率较好。

    一种基于分布式声学传感的船舶速度监测方法

    公开(公告)号:CN118226076A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410664400.6

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于分布式声学传感的船舶速度监测方法。方法包括:根据船舶轨迹和海底光纤的路由选取光纤段,通过光纤段接收水下辐射噪声信号并产生后向瑞利散射光信号后传播至DAS中,解调后获得解调声信号;将解调声信号进行预处理后获得预处理声信号;将预处理声信号进行二维傅里叶变换和频率‑波数滤波后获得预处理频率‑波数谱并提取最大多普勒频移;建立船舶速度模型,将最大多普勒频移输入模型中,模型输出船舶的航行速度,完成船舶速度的监测。本发明利用现有的海底电缆光纤,结合分布式声学传感技术,能够通过高分辨率的频率‑波数分析快速有效地实现船舶速度的准确测算,实现除船舶自动识别系统AIS外的船舶速度监测。

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