多端口射频微波芯片测试方法及装置

    公开(公告)号:CN116466217A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310362207.2

    申请日:2023-03-30

    Abstract: 本发明提供了一种多端口射频微波芯片测试方法及装置,其中方法包括:控制集成测试系统中集成的多个模块化仪器,以对被测件进行不同芯片参数的测试,得到参数测试结果;根据参数测试结果,获取被测件的实际反射系数和测试反射系数;被测件包括开路、短路和负载;负载的测试反射系数不等于0;根据实际反射系数和测试反射系数,计算8项误差模型的单端口误差项,以根据单端口误差项计算出两个端口分别对应的误差修正T参数矩阵;根据实际反射系数和测试反射系数计算夹具的S参数;根据两个端口分别对应的误差修正T参数矩阵和夹具的S参数,对参数测试结果进行校准修正。本方案,能够提高多端口射频微波芯片的测试效率和测试精度。

    数据基S参数校准件构建方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116256684A

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202211573968.4

    申请日:2022-12-08

    Abstract: 本发明提供一种数据基S参数校准件构建方法,包括以下步骤:设置矢量网络分析仪的校准参数;采用所述矢量网络分析仪,基于LRM和MTRL算法对开路标准件、短路标准件和负载匹配标准件进行校准;当所述校准通过后,获取所述开路标准件、所述短路标准件和所述负载匹配标准件的数据基S参数。本发明的数据基S参数校准件构建方法,有效提升了校准算法的精度,且保证了校准操作的便捷性。

    表征模型的构建方法、装置、设备和系统

    公开(公告)号:CN114841099B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202210776150.6

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 本发明涉及半导体仿真技术领域,特别涉及一种表征模型的构建方法、装置、设备和系统。方法包括:确定用于表征待测器件传输性能的表征模型所包括的自变量;表征模型的自变量包括频率、温度和器件物理尺寸参数中的至少一种,且表征模型的自变量至少包括频率;利用确定的至少一个自变量构建表征模型;表征模型为R、L、C分别与频率相关的多阶等式;采用自变量赋值方式,获取在每一次测量条件下待测器件去嵌后的S参数;将S参数转换为R、L和C的参数值;利用R、L和C的参数值分别对对应多阶等式进行拟合,得到对应多阶等式中未知系数的值,将未知系数的值代入对应多阶等式中,表征模型构建完成。本方案,能够提高表征模型的准确性和通用性。

    多端口射频微波芯片的测试系统

    公开(公告)号:CN111983434A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202011019258.8

    申请日:2020-09-25

    Inventor: 丁旭 晏殊 汪家乐

    Abstract: 本发明提供一种多端口射频微波芯片的测试系统,包括:具有载物台、第一台面及第二台面的自动探针台;第一台面位于载物台的上方,中心区域安置直流探针卡;第二台面位于第一台面的上方,探针座安置于第二台面上;自动探针台和探针座由伺服电机驱动,可以分别进行X-Y-Z方向的三维移动;PXI-e多功能测试平台,给直流探针卡提供测试信号实现对待测芯片的直流特性测试及监测;四端口矢量网络分析仪,给射频探针提供测试信号实现对待测芯片的射频特性测试。本发明的多端口射频微波芯片的测试系统结构简单、测试参数覆盖性高、测试效率高、测试精度高、成本低、测试灵活性高。

    一种噪声去嵌方法及装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118837639A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410839629.9

    申请日:2024-06-26

    Abstract: 本发明公开了一种噪声去嵌方法及装置,属于芯片测量领域。方法包括:获取被测器件的S参数测量值和噪声参数测量值,并获取预设去嵌结构的S参数测量值;获取的测量值均是在S参数校准和噪声校准后测量得到的;根据S参数测量值以及电阻‑电感‑电容负载模型中的已知电阻值,计算负载模型中的等效电容值和等效电感值;负载模型的电路连接方式为:电容与电阻形成并联电路,该并联电路与电感串联;根据负载模型计算负载真实反射系数,并将负载真实反射系数代入去嵌算法中计算得到待去嵌结构的S参数;根据待去嵌结构的S参数以及被测器件的S参数测量值和噪声参数测量值,计算去嵌后被测器件的真实噪声参数。本发明得到的噪声去嵌结果精度更高。

    一种毫米波噪声参数测试系统和方法

    公开(公告)号:CN116094625A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202310063110.1

    申请日:2023-01-13

    Abstract: 本发明涉及毫米波噪声参数测试系统和方法,其中,该系统包括矢量网络分析仪、扩频装置、被测件、下变频器、阻抗调配器以及噪声参数确定装置,扩频装置包括扩频控制器和两个扩频器,扩频控制器用于控制两个扩频器将被测件的工作频率提升至毫米波段;下变频器用于进行散射参数测试支路和噪声参数测试支路的切换,将噪声信号的频率下调至矢量网络分析仪的噪声接收频率范围;阻抗调配器用于使矢量网络分析仪在不同输入阻抗下获取不同的噪声信号;矢量网络分析仪用于在散射参数测试支路上获取散射参数,以及在噪声参数测试支路上获取不同噪声信号;噪声参数确定装置用于对散射参数和不同的噪声信号进行修正,计算噪声信号对应的噪声参数。

    表征模型的构建方法、装置、设备和系统

    公开(公告)号:CN114841099A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210776150.6

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 本发明涉及半导体仿真技术领域,特别涉及一种表征模型的构建方法、装置、设备和系统。方法包括:确定用于表征待测器件传输性能的表征模型所包括的自变量;表征模型的自变量包括频率、温度和器件物理尺寸参数中的至少一种,且表征模型的自变量至少包括频率;利用确定的至少一个自变量构建表征模型;表征模型为R、L、C分别与频率相关的多阶等式;采用自变量赋值方式,获取在每一次测量条件下待测器件去嵌后的S参数;将S参数转换为R、L和C的参数值;利用R、L和C的参数值分别对对应多阶等式进行拟合,得到对应多阶等式中未知系数的值,将未知系数的值代入对应多阶等式中,表征模型构建完成。本方案,能够提高表征模型的准确性和通用性。

    毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端

    公开(公告)号:CN113589211B

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202111156482.6

    申请日:2021-09-30

    Abstract: 本发明提供一种毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端,包括以下步骤:对于同轴或波导端口的夹具上连接的校准标准件,获取所述校准标准件的测试反射系数和实际反射系数;基于所述测试反射系数和所述实际反射系数构建超定方程组;基于所述超定方程组计算所述夹具的S参数;对所述夹具的S参数进行圆形内插,获取内插点的S参数;基于所述夹具的S参数和所述内插点的S参数进行毫米波宽带功率校准修正。本发明的毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端能够准确、便捷地进行毫米波宽带功率校准修正,有效提高了射频微波的测试精度。

    毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端

    公开(公告)号:CN113589211A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202111156482.6

    申请日:2021-09-30

    Abstract: 本发明提供一种毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端,包括以下步骤:对于同轴或波导端口的夹具上连接的校准标准件,获取所述校准标准件的测试反射系数和实际反射系数;基于所述测试反射系数和所述实际反射系数构建超定方程组;基于所述超定方程组计算所述夹具的S参数;对所述夹具的S参数进行圆形内插,获取内插点的S参数;基于所述夹具的S参数和所述内插点的S参数进行毫米波宽带功率校准修正。本发明的毫米波宽带功率校准修正方法及系统、存储介质及终端能够准确、便捷地进行毫米波宽带功率校准修正,有效提高了射频微波的测试精度。

    射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端

    公开(公告)号:CN113076713B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202110628906.8

    申请日:2021-06-07

    Inventor: 丁旭 王立平

    Abstract: 本发明提供一种射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端,包括以下步骤:获取三维电磁场仿真得到的所述在片校准件的开路、短路、负载匹配的反射系数和直通的传输系数的仿真值;获取双端口S参数校准得到的所述在片校准件的开路、短路、负载匹配的反射系数和直通的传输系数的实测值;计算仿真值与实测值的误差值;若误差值大于预设阈值,获取仿真参数重置后获取的仿真值,直至误差值不大于预设阈值;对仿真值进行拟合,以获取在片校准件的电路模型参数;基于电路模型参数和OSL算法获取射频微波探针的S参数。本发明的射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端能够实现S参数的精准提取,有效提高了射频微波的在片测试精度。

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