公开(公告)号：CN117038790A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311020976.0

申请日：2023-08-14

申请人： 浙江珏芯微电子有限公司

发明人： 毛剑宏 ,  谭必松 ,  龚汉红 ,  陈天晴 ,  邱伟强 ,  安美

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/02 ,  H01L31/0224

摘要： 本发明提供了一种碲镉汞红外探测器的制备方法，包括：提供碲镉汞半导体基底；在碲镉汞半导体基底的表面形成第一钝化层；在第一钝化层上形成网格形式的金属层，金属层的网格内露出第一钝化层的表面；在第一钝化层和金属层上均形成第二钝化层；依次刻蚀第二钝化层和第一钝化层，以形成贯穿第二钝化层和第一钝化层的通孔，通孔内露出碲镉汞半导体基底的表面，通孔位于金属层的网格内；依次在通孔内形成金属电极和铟柱，金属电极将铟柱和碲镉汞半导体基底与第一钝化层以及第二钝化层均隔开；将金属层与提供偏压的电源连通，以消除所述第一钝化层和第二钝化层带有的电荷。本发明解决了像元之间出现漏电的问题，提高了探测器成像性能。

公开(公告)号：CN116735009A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310510434.5

申请日：2023-05-05

申请人： 浙江珏芯微电子有限公司

发明人： 杜宇 ,  熊伟钉 ,  李克俊 ,  安美 ,  陈天晴 ,  谭必松 ,  毛剑宏

IPC分类号： G01J5/90

摘要： 本发明提供一种红外焦平面探测器的量子效率测试方法及系统，包括红外焦平面探测器以及与红外焦平面探测器对准且相隔一预设距离设置的面源黑体，使得黑体辐射均匀照射在红外焦平面探测器像元上，面源黑体工作在一预设温度下；并包括以下步骤：步骤S1，获取红外焦平面探测器的像元在不同积分时间下的像元电压数据；步骤S2，对红外焦平面探测器的像元电压数据随积分时间进行线性拟合，确定拟合直线的斜率；步骤S3，获取红外焦平面探测器的光学F数、红外焦平面探测器上读出电路的积分电容、像元面积以及普朗克光子发射率，并结合确定的拟合直线的斜率计算得到量子效率。有益效果：本发明测试方法简便可行，数据采集方便、数据处理简单。