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公开(公告)号:CN109952649B
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN201780069329.5
申请日:2017-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N25/70 , H01L27/146 , H01L31/02
Abstract: 光检测装置具备:具有二维排列的多个像素的半导体光检测元件、具有对来自对应的像素的输出信号进行处理的多个信号处理部的搭载基板。半导体光检测元件在每个像素具有:多个雪崩光电二极管,其以盖革模式动作;多个灭弧电阻,其串联地电连接于对应的雪崩光电二极管;贯通电极,其与多个灭弧电阻电连接。各信号处理部具有通过对应的贯通电极而电连接有多个雪崩光电二极管并且输出与来自多个雪崩光电二极管的输出信号对应的信号的电流镜电路。搭载基板具有的多个信号处理部的数量比各像素中的受光区域的数量多。
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公开(公告)号:CN103650166A
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201180072092.9
申请日:2011-12-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/107 , H01L27/146
CPC classification number: H01L27/1446
Abstract: 本发明提供光电二极管阵列、基准电压决定方法及推荐动作电压决定方法。对光电二极管阵列施加反偏电压,该光电二极管阵列具备:以盖格模式动作的多个雪崩光电二极管;及相对于各雪崩光电二极管串联连接的降压电阻。使施加的反偏电压变化而测定电流,并将所测定的电流的变化中的拐点处的反偏电压作为基准电压而决定。将对所决定的基准电压加上规定的值而得到的电压作为推荐动作电压而决定。
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公开(公告)号:CN111630354B
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN201980009397.1
申请日:2019-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/42 , G01J11/00 , H01L27/146 , H01L31/10 , H01L31/107 , H04N25/79
Abstract: 光检测装置(1)具备由化合物半导体构成的雪崩光电二极管阵列基板(10)。电路基板(50)具有多个时间测量电路(40)及时钟驱动器(35)。各时间测量电路(40)具有延迟线部,根据延迟线(47)的动作结果,取得表示自对应的雪崩光电二极管(20)输入脉冲信号的时机的时间信息。延迟线部对应于脉冲信号输入到该时间测量电路(40)而开始延迟线(47)的动作,对应于来自时钟驱动器(35)的时钟信号输入到该时间测量电路(40)而停止延迟线(47)的动作,通过延迟线(47)的动作检测较时钟信号的周期短的时间间隔。
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公开(公告)号:CN109923383A
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201780069330.8
申请日:2017-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/42 , G01J1/02 , H01L27/146 , H01L31/10 , H01L31/107 , G01T1/20
Abstract: 光检测装置具备一维排列有多个像素的半导体基板。光检测装置在每个像素具有以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管、串联地电连接于对应的雪崩光电二极管的多个灭弧电阻、对来自多个雪崩光电二极管的输出信号进行处理的信号处理部。多个雪崩光电二极管的受光区域在每个像素二维排列。各信号处理部具有栅极接地电路和电连接于栅极接地电路的电流镜电路。在栅极接地电路,通过多个灭弧电阻电连接有对应的像素的多个雪崩光电二极管。电流镜电路输出与来自多个雪崩光电二极管的输出信号对应的信号。
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公开(公告)号:CN106921387A
公开(公告)日:2017-07-04
申请号:CN201610955356.X
申请日:2016-10-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H03K23/78
CPC classification number: G01T1/247 , G01T1/18 , H01L31/02027 , H03K23/78
Abstract: 本发明涉及一种读取电路,是读取来自将在分别包含雪崩光电二极管的多个像素中产生的电流一并输出的光电转换元件的输出电流的电路,包括:接收上述输出电流,输出与上述输出电流成比例的大小的第1和第2电流的电流镜像电路;基于上述第1电流,进行入射至上述光电转换元件的光子的计数的光子计数电路;对上述第2电流进行积分而生成电压信号的积分电路;和基于从上述光子计数电路输出的计数结果和从上述积分电路输出的上述电压信号的大小,判断入射至上述光电转换元件的光的大小的信号处理部。
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公开(公告)号:CN114450618A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202080068254.0
申请日:2020-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学装置(1)具备镜驱动部(11)、加热部(15)、及加热控制部(4)。在镜驱动部(11)中,在可动部(23)设置有镜面(31a)。支承部(22)经由弹性连结部(24)支承可动部(23)。动力产生部(50)使动力产生于可动部(23)。驱动控制部(3)输出使动力产生部(50)动作的驱动信号。可动部(23)在弹性连结部(24)被加热前的状态下,具有较驱动控制部(3)输出的驱动信号的频率更高的共振频率。可动部(23)通过与动力产生部(50)的动力相应的弹性连结部(24)的弹性变形而摆动。加热控制部(4)取得显示可动部(23)的摆动状态的信号,并基于所取得的信号的相位,反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。
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公开(公告)号:CN109923383B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201780069330.8
申请日:2017-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/42 , G01J1/02 , H01L27/146 , H01L31/10 , H01L31/107 , G01T1/20
Abstract: 光检测装置具备一维排列有多个像素的半导体基板。光检测装置在每个像素具有以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管、串联地电连接于对应的雪崩光电二极管的多个灭弧电阻、对来自多个雪崩光电二极管的输出信号进行处理的信号处理部。多个雪崩光电二极管的受光区域在每个像素二维排列。各信号处理部具有栅极接地电路和电连接于栅极接地电路的电流镜电路。在栅极接地电路,通过多个灭弧电阻电连接有对应的像素的多个雪崩光电二极管。电流镜电路输出与来自多个雪崩光电二极管的输出信号对应的信号。
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公开(公告)号:CN106921387B
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN201610955356.X
申请日:2016-10-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H03K23/78
Abstract: 本发明涉及一种读取电路,是读取来自将在分别包含雪崩光电二极管的多个像素中产生的电流一并输出的光电转换元件的输出电流的电路,包括:接收上述输出电流,输出与上述输出电流成比例的大小的第1和第2电流的电流镜像电路;基于上述第1电流,进行入射至上述光电转换元件的光子的计数的光子计数电路;对上述第2电流进行积分而生成电压信号的积分电路;和基于从上述光子计数电路输出的计数结果和从上述积分电路输出的上述电压信号的大小,判断入射至上述光电转换元件的光的大小的信号处理部。
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公开(公告)号:CN103650166B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201180072092.9
申请日:2011-12-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/107 , H01L27/146
CPC classification number: H01L27/1446
Abstract: 本发明提供光电二极管阵列、基准电压决定方法及推荐动作电压决定方法。对光电二极管阵列施加反偏电压,该光电二极管阵列具备:以盖格模式动作的多个雪崩光电二极管;及相对于各雪崩光电二极管串联连接的降压电阻。使施加的反偏电压变化而测定电流,并将所测定的电流的变化中的拐点处的反偏电压作为基准电压而决定。将对所决定的基准电压加上规定的值而得到的电压作为推荐动作电压而决定。
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