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公开(公告)号：CN118714724A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410754059.3
申请日：2024-06-12
申请人： 清华大学 , 北京华清加高能电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种能量可调电子直线加速结构，所述电子枪用于提供电子束；所述加速管体包括聚束腔、多个第一加速腔和多个第二加速腔，多个所述第一加速腔和多个所述第二加速腔交叉布置；所述聚束腔和多个所述第一加速腔馈入第一微波，所述第一微波的功率不变，所述聚束腔用于对所述电子枪产生的电子束聚束，以获得聚束电子束，多个所述第一加速腔用于对聚束电子束进行加速；多个所述第二加速腔馈入第二微波，所述第二微波的功率幅值和相对相位差为调节量，多个所述第二加速腔用于对电子束进行加速或减速。本发明具有较高的加速梯度和较宽的能量调节范围，且在能量调节范围内具有连续可调的特点和较高的俘获率，可以获得更好的能谱，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN117998721A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410138018.1
申请日：2024-01-31
申请人： 清华大学 , 北京华清加高能电子科技有限公司
摘要： 本申请涉及真空电子器件中的微波源技术领域，特别涉及一种基于多磁控管锁相的加速器阵列和级联系统，包括：多个磁控管、多个环流器和多个加速管，其中，磁控管包括主动磁控管和至少一个从动磁控管，主动磁控管与至少一个从动磁控管并联，且主动磁控管与从动磁控管之间均设置有移相件；主动磁控管利用移相件驱动至少一个从动磁控管完成锁相动作后，主动磁控管和至少一个从动磁控管分别输出对应的微波功率至对应的环流器；环流器、磁控管和加速管均对应设置，环流器用于将对应磁控管的微波功率馈入每个环流器对应的加速管，以驱动不同加速管输出不同相位的电子束。由此，实现了加速器阵列和级联系统的快速照射角度切换和快速电子束能量调节。
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公开(公告)号：CN117599352A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311557996.1
申请日：2023-11-21
申请人： 清华大学
摘要： 本申请涉及医用电子加速器技术领域，特别涉及一种电子束的多级散射装置、医疗设备及方法，其中，包括：电子窗，用于出射第一束斑半径的电子束；第一级散射片，第一级散射片设置于电子窗之后，用于对经过电子窗出射的第一束斑半径的电子束进行初级散射；第二级散射片，第二级散射片设置于第一级散射片之后，用于对第一级散射片初级散射后的电子束进行二级散射；其中，经过二级散射后的电子束，经过第二级散射片与探测器之间的空气段漂移得到第二束斑半径且横向分布均匀的电子束，第二束斑半径大于第一束斑半径。由此，解决了相关技术中无法满足束流尺寸、束流密度的需求，电子束通过较厚的散射箔后，电子能量会降低，损耗严重等问题。
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公开(公告)号：CN116209131A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202111443651.4
申请日：2021-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
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公开(公告)号：CN112243310B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201910644153.2
申请日：2019-07-16
申请人： 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
摘要： 本公开的实施例提供一种多射线源加速器和检查方法。多射线源加速器包括：多个加速管，所述多个加速管的每个加速管包括加速管体，所述加速管体限定至少一个腔，所述多个加速管沿直线或弧线排列成至少一行并且相互串接；和微波单元，用于向所述多个加速管提供微波场。多个加速管布置成允许所述微波单元从多个加速管的一端处的一个加速管提供微波场以便能够加速全部加速管的腔中的电子束。
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公开(公告)号：CN114126184A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111402432.1
申请日：2021-11-19
申请人： 清华大学
摘要： 本申请提出一种金刚石电子窗水冷结构及加速器，其中，该结构包括：以金刚石作为材料得到的加速器的金刚石电子窗；与金刚石电子窗对应设置的电子出射孔，使得电子通过金刚石电子窗口后通过电子出射孔射出到外界；冷却装置，冷却装置用于将金刚石电子窗中沉积的热量导出至外界。本申请实施例中的金刚石电子窗导热系数大，且具有较高的机械强度，由此，解决了钛窗口导热系数较小，难以承受更高功率、更高重频的束流的问题。
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公开(公告)号：CN113382528A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110555482.7
申请日：2021-05-21
申请人： 清华大学
摘要： 本发明属于电子加速器技术领域，具体涉及一种电子直线加速器，尤其是一种能量可调的电子直线加速器。本发明的电子直线加速器中包括了可调功率分配器，该功率分配器的输出端口分别连接了两只电子直线加速管，可调功率分配器的活塞短路面与步进电机相连，利用步进电机调整短路活塞的位置，改变功率分配器两个输出端口感受到的反射微波相位，从而改变两端连接的加速器输出的电子束能量的大小。本发明可以有效地避免能量调节的过程中微波功率源的抖动，并大幅度的缩小装置的装配体积和重量。
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公开(公告)号：CN112332831A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011115779.3
申请日：2020-10-19
申请人： 清华大学
IPC分类号： H03K19/0175
摘要： 本发明属于高功率微波技术领域，尤其涉及一种提高微波脉冲压缩器系统效率的方法。本发明的提高微波脉冲压缩器系统效率的方法，其中的第一种方案是对原有的低功率信号和脉冲调制器信号的时序关系进行改进，使速调管的输出脉冲包含了上升沿部分，提高了速调管的工作效率和脉冲压缩器的效率。本发明的第二种方案设计了一级脉冲压缩系统的最优填充函数： 本发明的第t0)三)2。种速方调案管设向计脉了冲两压级缩压器缩输入系最统优的填最充优波填形充能函使数脉：冲P0压(B缩(器t‑效率最大化。本发明的无源脉冲压缩器的高效率填充方案，脉冲压缩器效率比原来的提高20％～30％，脉冲压缩系统的整体效率比原来的提高约10％，提高的比例大于60％。
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公开(公告)号：CN111900066A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202010682116.3
申请日：2020-07-15
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J23/027 , H01J23/05 , H01J25/50 , H01J25/587
摘要： 本发明公开了一种磁控管，所述磁控管包括管体、多个阳极和多个阴极，管体内设有多个第一腔且相邻的第一腔相通，阳极设在第一腔内且包括筒体和多个设在筒体内的扇叶，扇叶沿筒体的径向延伸，且扇叶的外端与筒体的内周面相连，相邻扇叶之间形成谐振腔，多个谐振腔包括第一谐振腔和第二谐振腔，筒体设有多个沿筒体的周向间隔布置的耦合缝，耦合缝沿筒体的径向贯通筒体以连通第一谐振腔和第一腔，阴极设在筒体内且与筒体同轴设置，阴极和扇叶的内端在筒体的径向上间隔开，阴极的至少部分位于多个扇叶的内侧；管体上设有输出缝以连通第一腔与外界。本发明在磁控管内部进行电磁场耦合，提高了磁控管输出功率，无需采用外部注入锁相系统。
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公开(公告)号：CN104470176B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201310427001.X
申请日：2013-09-18
申请人： 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
CPC分类号： H01J35/06 , H01J35/12 , H01J35/16 , H01J35/24 , H01J2235/068 , H01J2235/087 , H05G1/10 , H05G1/70
摘要： 本发明提供一种曲面阵列分布式X射线装置，其特征在于，具备：真空盒，四周密封并且内部为高真空；多个电子发射单元，以在曲面上沿所述曲面的轴线方向面向所述轴线排列多排的方式配置在所述真空盒的壁上；阳极，由金属构成并且以布置在所述轴线上的方式配置在所述真空盒内，包括阳极管道和阳极靶面；电源与控制系统，具有与所述阳极连接的高压电源、与所述多个电子发射单元的每一个连接的灯丝电源、与所述多个电子发射单元的每一个连接的栅极控制装置、用于对各电源进行控制的控制系统。
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