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公开(公告)号：CN117629166A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311092613.8
申请日：2023-08-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供角速度检测元件以及角速度传感器。角速度检测元件具有：驱动振动臂，其与被施加的驱动信号相应地进行弯曲振动；以及检测振动臂，其与被施加的角速度相应地进行弯曲振动，所述驱动振动臂以及所述检测振动臂分别具有沿着延伸方向的有底的槽部，在设所述驱动振动臂的厚度为t1、所述驱动振动臂的所述槽部的深度为d1、所述检测振动臂的厚度为t2、所述检测振动臂的所述槽部的深度为d2时，d2/t2＞d1/t1。
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公开(公告)号：CN112752202A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011182261.1
申请日：2020-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小仓诚一郎
Abstract: 振动器件。具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件、支承振动元件的支承基板、以及配置于支承基板的多个布线。此外，支承基板具有搭载有振动元件的元件搭载台、位于元件搭载台的外侧的支承台、位于元件搭载台与支承台之间的框、具有连接元件搭载台和框的一对第1梁的内侧梁、以及具有连接框和支承台的一对第2梁的外侧梁。此外，在多个布线中包含有引绕于元件搭载台和支承台的驱动信号布线和检测信号布线，驱动信号布线和检测信号布线通过相互不同的内侧梁而引绕于元件搭载台和框，通过相互不同的外侧梁而引绕于框和支承台。
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公开(公告)号：CN112448690A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010875381.3
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN111740702A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010205984.2
申请日：2020-03-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。
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公开(公告)号：CN104702240A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410727644.0
申请日：2014-12-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5621 , G01C19/5607
Abstract: 本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102478401B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201110361826.7
申请日：2011-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5628 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/253 , G01C19/5607 , H01L41/0475 , H01L41/09 , H01L41/107 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 提供能够进行泄漏输出的抑制调节的振动片、使用该振动片的传感器单元及其制造方法、以及搭载了这些振动片或传感器单元的电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且，从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起，设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。
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公开(公告)号：CN103453897A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310219211.X
申请日：2013-06-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/053 , G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种振动片、以及使用了该振动片的电子装置、电子设备，所述振动片为，即使小型化也能够降低振动泄漏的振动片。本发明的振动片（10）的特征在于，具备：振动体（基部（12）、振动臂（16）、检测臂（20））；支承部（26），其通过板状的连结部（24）而对所述振动体进行支承，在所述连结部（24）的两个主面上设置有槽（第一槽（28）、第二槽（30）），配置于所述连结部（24）的一个主面上的第一槽（28）与配置于另一个主面上的第二槽（30）被配置于，在俯视观察时互不相同的位置上。
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公开(公告)号：CN102095418B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201010572594.5
申请日：2010-12-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5783 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种机械强度高的封装体及使用该封装体的振动器件。作为振动器件的振动陀螺仪具有：封装底座，其具有通过在第1层基板上层叠第2层基板、第3层基板以及第4层基板而形成的凹部；封装体，其具有通过封装底座的凹部、和接合于封装底座的上端的罩形成的内部空间；以及收纳在内部空间中的陀螺仪振动片及IC芯片。封装体具有由连通孔和多孔体形成的多孔部，该连通孔连通内部空间与外部，该多孔体埋设在连通孔内，并且在多孔部的外部侧以封闭多孔部的外部与内部空间的方式形成有金属膜，并且封装体内部被气密密封。
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公开(公告)号：CN1585146A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410058590.X
申请日：2004-08-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种音叉型压电振动片及音叉型压电振动片的安装方法。音叉型压电振动片(10)包括：具有多个振动臂(14)的音叉型压电振动片主体(16)；沿着与所述音叉型压电振动片主体(16)的纵长方向交叉的方向形成的连接所述压电振动片主体(16)的短边部(18)；从所述短边部(18)沿着所述音叉型压电振动片主体(16)的纵长方向形成的具有冲击缓和部(22)的长边部(20)。由此，即使向音叉型压电振动片施加冲击，也能防止安装有音叉型压电振动片的封装体与振动臂发生冲击。
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公开(公告)号：CN116599482A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310559452.2
申请日：2020-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。
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