具有直接接合的微电子组件中的屏蔽结构

    公开(公告)号:CN116457936A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202180077797.3

    申请日:2021-09-24

    Abstract: 本文公开了微电子组件以及相关的设备和方法。在一些实施例中,微电子组件可以包括第一微电子部件,具有第一表面和相反的第二表面,所述第一微电子部件包括在第二表面处的第一直接接合区域,所述第一直接接合区域具有第一金属触点和在第一金属触点中的相邻第一金属触点之间的第一电介质材料;第二微电子部件,具有第一表面和相反的第二表面,所述第二微电子部件包括在第一表面处的第二直接接合区域,所述第二直接接合区域具有第二金属触点和在所述第二金属触点中的相邻第二金属触点之间的第二电介质材料,其中,所述第二微电子部件通过所述第一直接接合区域和所述第二直接接合区域耦接到所述第一微电子部件;以及在第一直接接合电介质材料中的屏蔽结构,至少部分地围绕所述第一金属触点中的一个或多个第一金属触点。

    具有直接接合的微电子组件中的气密密封结构

    公开(公告)号:CN116438653A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202180076177.8

    申请日:2021-09-24

    Abstract: 本文中公开的是包括通过直接接合耦合的微电子部件的微电子组件以及相关结构和技术。在一些实施例中,微电子组件可以包括:第一微电子部件,其包括延伸穿过其厚度的至少一部分并且沿周界延伸的第一保护环;第二微电子部件,其包括延伸穿过其厚度的至少一部分并且沿周界延伸的第二保护环,其中第一和第二微电子部件通过直接接合耦合;以及密封环,其通过将第一保护环耦合到第二保护环而形成。在一些实施例中,微电子组件可以包括微电子部件,微电子部件耦合到内插器,该内插器包括:位于第一表面处的第一衬层材料;位于相对的第二表面处的第二衬层材料;以及穿过内插器并且连接到第一和第二衬层材料的周界壁。

    穿硅过孔管芯
    5.
    发明公开
    穿硅过孔管芯 审中-公开

    公开(公告)号:CN118866870A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202311815108.1

    申请日:2023-12-27

    Abstract: 描述了穿硅过孔管芯。在示例中,半导体管芯包括具有器件侧和背侧的衬底。有源器件层在衬底的器件侧中或上。电介质结构在有源器件层上方。第一管芯边缘金属保护环在电介质结构中并且围绕衬底的外周界。多个金属化层在电介质结构中并且在第一管芯边缘金属保护环内。多个穿硅过孔在衬底中并延伸到电介质结构中,并且连接到多个金属化层。多个背侧金属化结构在衬底的背侧下方。多个穿硅过孔连接到多个背侧金属化结构。第二管芯边缘金属保护环横向围绕多个背侧金属化结构。

    微电子组件中的直接接合
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114203684A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202110948262.0

    申请日:2021-08-18

    Abstract: 本文公开了包括直接接合的微电子组件,以及相关的结构和技术。例如,在一些实施例中,微电子组件可以包括第一微电子部件和通过直接接合区耦合到第一微电子部件的第二微电子部件,其中直接接合区包括第一子区和第二子区,以及第一子区,并且第一子区具有比第二子区更大的金属密度。在一些实施例中,微电子组件可以包括第一微电子部件和通过直接接合区耦合到第一微电子部件的第二微电子部件,其中直接接合区包括第一金属接触和第二金属接触,第一金属接触具有比第二金属接触更大的面积,并且第一金属接触电耦合到第一微电子部件的电源/接地平面。

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