包括纳米膜的装置和相关方法

    公开(公告)号:CN107923868B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN201680046827.3

    申请日:2016-05-18

    Abstract: 一种装置,包括沟道构件(401)、第一电极和第二电极(403、404)、以及支撑衬底(402),该第一电极和第二电极被配置为使电流能够从第一电极通过沟道构件流到第二电极,该支撑衬底被配置为支撑沟道构件以及第一电极和第二电极,其中沟道构件通过纳米膜(411)而与支撑衬底分离,该纳米膜被配置为通过抑制沟道构件与支撑衬底之间的相互作用来便于电流流过沟道构件。可能地,在衬底与纳米膜之间存在导电屏蔽层(412),该层也可以是纳米膜。所述装置还可以包括栅电极(406)和栅极电介质(407),所述栅极电介质也可能是纳米膜。如图5所示,该装置可以被配置为感测分析物物质(513)。

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