半导体器件及形成半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN101589471B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200780049284.1

    申请日:2007-01-04

    CPC classification number: H01L29/7802 H01L29/0878 H01L29/42368 H01L29/66712

    Abstract: 一种形成半导体器件的方法,包括提供衬底(4),在衬底(4)上方提供第一导电类型的半导体层(6),在半导体层(6)中形成第一导电类型的第一区(8),以及在半导体层(6)上方和第一区(8)的一部分上方形成栅(26)。该栅标示出第二导电类型的器件的表面(10)的第一部分(58)的外形,掺杂剂被提供到标示出外形的第一部分(58),以在半导体层(6)中提供第二区(12)。将第一区(8)和第二区(12)驱入到半导体层,以便形成第一导电类型的预先控制区(8)和第一导电类型的渐变体区(12),其中,第一导电类型的预先控制区(8)在栅(26)的一部分下方延伸,并且第一导电类型的渐变体区(12)在预先控制区(8)下方延伸。通过向标示出外形的第一部分(58)提供第二导电类型的掺杂剂,来形成体区(14)。

    半导体器件及形成半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN101589471A

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200780049284.1

    申请日:2007-01-04

    CPC classification number: H01L29/7802 H01L29/0878 H01L29/42368 H01L29/66712

    Abstract: 一种形成半导体器件的方法,包括提供衬底(4),在衬底(4)上方提供第一导电类型的半导体层(6),在半导体层(6)中形成第一导电类型的第一区(8),以及在半导体层(6)上方和第一区(8)的一部分上方形成栅(26)。该栅标示出第二导电类型的器件的表面(10)的第一部分(58)的外形,掺杂剂被提供到标示出外形的第一部分(58),以在半导体层(6)中提供第二区(12)。将第一区(8)和第二区(12)驱入到半导体层,以便形成第一导电类型的预先控制区(8)和第一导电类型的渐变体区(12),其中,第一导电类型的预先控制区(8)在栅(26)的一部分下方延伸,并且第一导电类型的渐变体区(12)在预先控制区(8)下方延伸。通过向标示出外形的第一部分(58)提供第二导电类型的掺杂剂,来形成体区(14)。

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