公开(公告)号：CN111164515A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201880063422.X

申请日：2018-09-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： P·A·J·廷尼曼斯 ,  E·M·休瑟博斯 ,  H·J·L·梅根斯 ,  A·K·埃达玛 ,  L·J·P·维尔希斯 ,  W·S·C·罗洛夫斯 ,  W·J·M·范德文 ,  H·亚古毕扎德 ,  H·E·瑟克里 ,  R·布林克霍夫 ,  T·T·T·乌 ,  M·R·古森 ,  M·范特维斯泰德 ,  寇伟田 ,  M·里杰普斯特拉 ,  M·科克斯 ,  F·G·C·比杰南

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 公开了一种用于确定传感器系统的操作参数的一个或多个经优化的值的方法，该传感器系统被配置为测量衬底的性质，该方法包括：确定针对多个衬底的质量参数；针对操作参数的多个值，确定使用传感器系统而被获取的针对多个衬底的测量参数；将质量参数的衬底到衬底变化与测量参数的映射的衬底到衬底变化进行比较；以及基于该比较，确定操作参数的一个或多个经优化的值。

公开(公告)号：CN111164515B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN201880063422.X

申请日：2018-09-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： P·A·J·廷尼曼斯 ,  E·M·休瑟博斯 ,  H·J·L·梅根斯 ,  A·K·埃达玛 ,  L·J·P·维尔希斯 ,  W·S·C·罗洛夫斯 ,  W·J·M·范德文 ,  H·亚古毕扎德 ,  H·E·瑟克里 ,  R·布林克霍夫 ,  T·T·T·乌 ,  M·R·古森 ,  M·范特维斯泰德 ,  寇伟田 ,  M·里杰普斯特拉 ,  M·科克斯 ,  F·G·C·比杰南

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 公开了一种用于确定传感器系统的操作参数的一个或多个经优化的值的方法，该传感器系统被配置为测量衬底的性质，该方法包括：确定针对多个衬底的质量参数；针对操作参数的多个值，确定使用传感器系统而被获取的针对多个衬底的测量参数；将质量参数的衬底到衬底变化与测量参数的映射的衬底到衬底变化进行比较；以及基于该比较，确定操作参数的一个或多个经优化的值。