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公开(公告)号：CN108807120A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810393514.6
申请日：2018-04-27
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/12 , H01J37/143
摘要： 公开了带电粒子显微镜中的枪透镜设计。一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其中，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。
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公开(公告)号：CN103198990A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310005725.5
申请日：2013-01-08
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J9/44
CPC分类号： H01J37/00 , G01T1/29 , H01J37/02 , H01J37/073 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/065
摘要： 本发明涉及来自场发射源的发射参数的确定。通过电流如何随引出电压而变的测量可以确定发射体的状态。由在不同条件下发射的带电粒子的一系列相对简单的测量结果来确定场形因数β函数。然后可以使用该场形因数来确定发射的导出特性，在现有技术中是难以在不将源从聚焦镜筒移除并将其安装在专用设备中的情况下确定它们的。该关系式是由源配置确定的且已经发现其独立于发射体形状，并且因此可以随着发射体形状随时间推移而变来确定发射特性，而不必确定发射体形状且不必重新定义场形因数与所述一系列相对简单测量结果之间的关系式以及场形因数与其他发射参数之间的关系。
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公开(公告)号：CN104380425B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380033434.5
申请日：2013-05-24
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/21 , H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/006 , H01J2237/082 , H01J2237/0827 , H01J2237/31749
摘要： 具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道，其中，多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地改变离子种类。偏转板用于将电子射束对准到气体腔室中，借此允许快速地切换聚焦离子射束中的气体种类。
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公开(公告)号：CN104380425A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380033434.5
申请日：2013-05-24
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/21 , H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/006 , H01J2237/082 , H01J2237/0827 , H01J2237/31749
摘要： 具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道，其中，多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地改变离子种类。偏转板用于将电子射束对准到气体腔室中，借此允许快速地切换聚焦离子射束中的气体种类。
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