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公开(公告)号：CN111384229A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911336734.6
申请日：2019-12-23
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/277
摘要： 薄膜层叠体具备：由金属构成的金属层和层叠于金属层的表面的薄膜，第一方向被定义为与金属层的表面平行的一个方向，第二方向被定义为与金属层的表面平行，且与第一方向交叉的一个方向，金属层包含多个第一金属粒及多个第二金属粒，第一金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第一方向延伸，第二金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第二方向延伸。
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公开(公告)号：CN108172683A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711276515.4
申请日：2017-12-06
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/04 , H01L41/053
CPC分类号： H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G11B5/483 , H01L41/0477 , H01L41/1132 , H01L41/18
摘要： 本发明的目的在于提供一种电阻率高并且即使经连续驱动压电常数也难以降低的压电薄膜层叠体。压电薄膜层叠体100具备第一电极层3、被层叠于第一电极层3的第一氧化物层4、被层叠于第一氧化物层4的第二氧化物层5、被层叠于第二氧化物层5的压电薄膜6，第一氧化物层4的电阻率高于第二氧化物层5的电阻率，第一氧化物层4含有K、Na以及Nb，压电薄膜6含有(K,Na)NbO3。
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公开(公告)号：CN105826460A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610052092.7
申请日：2016-01-26
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/113 , B41J2/01 , G11B5/35
CPC分类号： H01L41/0477 , B41J2/14233 , G11B5/483 , H01L41/0805 , H01L41/09 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/1873 , H01L41/0478 , B41J2/01 , G11B5/35
摘要： 本发明的目的在于，补偿构成压电薄膜元件的压电薄膜的氧缺陷并且进一步提高压电特性，以及进一步降低漏电流密度。本发明所涉及的压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由Pt(铂)构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者Pt的氧化物颗粒。
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公开(公告)号：CN111384229B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201911336734.6
申请日：2019-12-23
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H10N30/87 , H10N30/50 , H10N30/057
摘要： 薄膜层叠体具备：由金属构成的金属层和层叠于金属层的表面的薄膜，第一方向被定义为与金属层的表面平行的一个方向，第二方向被定义为与金属层的表面平行，且与第一方向交叉的一个方向，金属层包含多个第一金属粒及多个第二金属粒，第一金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第一方向延伸，第二金属粒由金属构成，在金属层的表面上沿着第二方向延伸。
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公开(公告)号：CN104395087B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380033316.4
申请日：2013-07-25
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC分类号： H01L41/0478 , B41J2/14233 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/313 , H01L41/316
摘要： 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104603966A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC分类号： H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
摘要： 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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公开(公告)号：CN104396039A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033604.X
申请日：2013-07-25
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/08 , H01L41/053 , H01L41/09 , B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/113
CPC分类号： H03H9/02133 , G01C19/5783 , G01P15/00 , H01L41/0536 , H01L41/0805 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H04R17/02
摘要： 根据本发明的压电器件(100)设置有一对电极膜(8，12)、夹在这对电极膜(8，12)之间的压电膜(10)、以及应力控制膜(14)，应力控制膜(14)在电极膜(12)不与压电膜(10)接触的侧上与这对电极膜(12)中的至少一个直接接触，并且具有比相关的电极膜(12)和压电膜(10)的线性膨胀系数更大的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104576915B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201410564550.6
申请日：2014-10-21
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： H01L41/0805 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01L1/16 , G01L9/008 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
摘要： 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。
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公开(公告)号：CN104603966B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC分类号： H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
摘要： 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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公开(公告)号：CN104364924A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029622.0
申请日：2013-05-14
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/08
CPC分类号： H01L41/0815 , H01L41/0477
摘要： 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。
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