一种无胶双面挠性覆铜板生产设备

    公开(公告)号:CN107841718A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201711029947.5

    申请日:2017-10-30

    发明人: 林壁鹏

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种无胶双面挠性覆铜板生产设备,包括真空腔体、收放卷系统,所述真空腔体一侧设置有靶极车,所述靶极车上设置有靶极,所述靶极车与所述真空腔体之间设置有第二密封件。有益效果在于:(1)空腔体为圆形,不会形成抽气死角,真空度均匀;真空获得系统为分子泵无油系统,确保了真空室内无返油;配置的深冷泵提高对连续镀膜过程中基材放气的抽速,从而提高了工作效率。(2)采用了双收放卷系统,可以满足磁控溅射区全幅宽的一卷双面镀及两卷单面镀;也可以满足镀区半幅宽的两卷镀单面及双面镀,功能全面。(3)在进入磁控溅射区处设离子源处理装置,对基材表面进行离子轰击,提高基材表面粗糙度,确保膜层与基材之间的剥离强度。