金属镀覆方法、预处理剂以及使用它们制得的半导体晶片和半导体器件

    公开(公告)号:CN1174118C

    公开(公告)日:2004-11-03

    申请号:CN00818201.9

    申请日:2000-11-20

    IPC分类号: C23C18/18

    摘要: 传统镀覆方法不适用的树脂布、粉末、镜面体和其他物体可通过一种简单的方法用金属镀覆。根据本发明的金属镀覆方法,在用事先通过贵金属化合物(催化剂)与其官能基团能捕获金属的硅烷偶联剂反应或混合制得的预处理剂处理要镀覆的物体表面以后进行化学镀覆。根据这一方法,金属镀覆可可靠地用于粉末、树脂布、半导体晶片和其他镜面体。而且,通过这一方法用于半导体晶片,可解决在精细布线形成过程中晶种层在通路和沟槽内壁上覆盖不足的问题。硅烷偶联剂可为含有唑基、优选咪唑的化合物。

    金属镀覆方法、预处理剂以及使用它们制得的半导体晶片和半导体器件

    公开(公告)号:CN1420944A

    公开(公告)日:2003-05-28

    申请号:CN00818201.9

    申请日:2000-11-20

    IPC分类号: C23C18/18

    摘要: 传统镀覆方法不适用的树脂布、粉末、镜面体和其他物体可通过一种简单的方法用金属镀覆。根据本发明的金属镀覆方法,在用事先通过贵金属化合物(催化剂)与其官能基团能捕获金属的硅烷偶联剂反应或混合制得的预处理剂处理要镀覆的物体表面以后进行化学镀覆。根据这一方法,金属镀覆可可靠地用于粉末、树脂布、半导体晶片和其他镜面体。而且,通过这一方法用于半导体晶片,可解决在精细布线形成过程中晶种层在通路和沟槽内壁上覆盖不足的问题。硅烷偶联剂可为含有唑基、优选咪唑的化合物。