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公开(公告)号：CN106847721A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611110412.6
申请日：2016-12-06
申请人： 超科技公司
发明人： D·M·欧文
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L22/20 , G01B9/02098 , G01B11/161 , G01B11/2441 , G01B2210/56 , G03F7/70783 , H01L22/12 , H01L23/544 , H01L2223/54426 , H01L2223/54453 , H01L22/26
摘要： 本发明涉及用CGS干涉仪表征处理诱发晶片形状以用于过程控制的系统及方法。本发明公开一种使用相干梯度感测(CGS)干涉测量将晶片形状表征的系统及方法。该方法包含使用CGS系统在晶片表面上测量至少3x106个数据点，以获得该晶片表面的拓扑图。针对晶片的前置处理与后置处理，收集该晶片上的数据，并且计算差值以获得对晶片表面形状影响的测量。根据该晶片表面形状内已测量的处理诱发变化，来控制用于处理相同晶片或后续晶片的处理步骤，以提高晶片处理质量。
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公开(公告)号：CN103148778A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210517057.X
申请日：2012-12-05
CPC分类号： G01B11/162 , G01B9/0203 , G01B9/02095 , G01B9/02098 , G01B11/2527 , G01B2290/70
摘要： 本发明涉及与3D轮廓术组合的相位步进错位干涉法的低相干干涉系统，提供了一种便携工业仪器，该便携工业仪器用来按集成和双路方式，对待测试的物体进行干涉条纹投影和错位干涉，从而，当双路干涉仪（1）与相干或准相干投影装置（2）相关联时，仪器能够通过干涉条纹投影，测量物体的3D形状，也称作波纹法，并且当双路干涉仪（1）与记录或成像装置（4）相关联时，仪器能够对物体进行错位干涉测量，当从一种测量配置移动到另一种时，在干涉仪（1）中的横向光束的方向反转。
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公开(公告)号：CN104457581B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201410430984.7
申请日：2014-08-28
申请人： 深圳奥比中光科技有限公司
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02045 , G01B9/02094 , G01B9/02098 , G01B11/06 , G01B2290/65 , G01B2290/70 , G01H9/00
摘要： 本发明涉及全场激光测振系统技术领域，尤其涉及一种全场Z向位移测量系统。通过使用空间域相移法在传统激光剪切散斑干涉法的基础上实现动态测量，并进一步利用激光剪切散斑干涉法与多普勒干涉法的同质性和相似的测量精度，通过单点的时间域多普勒干涉法帮助激光剪切散斑干涉法实现绝对位移测量，经过这几个方面的改进，本发明所述的测量系统可以实现全场Z向位移测量，能实现高精度全场绝对值振动测量，能进行瞬态深度测量，在深度测量、三维传感，以及航空、航天的振动测量和新材料表征检测等领域的深度测量具有重要应用，在汽车开发领域、机械工业领域以及我国的装备制造业等涉及复杂结构振动优化的领域都有非常重大的应用。
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公开(公告)号：CN102384716A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110318968.5
申请日：2011-08-11
申请人： 株式会社三丰
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02048 , G01B9/02067 , G01B9/02098 , G01B11/026 , G01B2290/45 , G01B2290/60
摘要： 一种固定波长绝对距离干涉仪包括第一干涉仪和第二干涉仪，所述第一干涉仪包括：第一光源，朝测量目标发射具有波长W的第一光束；波前半径检测器，被配置成提供响应于波前半径检测器处的波前半径的第一度量；以及第一路径长度计算部分，计算粗糙分辨率绝对路径长度度量R。第二干涉仪包括：发送具有波长Λ的第二干涉仪光束的光束发送装置；光束分离/合成装置，将第二干涉仪光束分离为参考和度量光束，并合成返回的参考和测量光束为合成光束；第二干涉仪检测器，被配置为接收合成光束和提供合成光束的相位的信号；以及第二路径长度计算部分，被配置为确定中等分辨率绝对路径长度度量ZM。
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公开(公告)号：CN106898564A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201611168660.6
申请日：2016-12-16
申请人： 超科技公司
CPC分类号： H01L22/24 , G01B9/02098 , G01B11/162 , G01B11/2441 , G01B11/303 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N2021/8877 , G03F7/70616 , G03F7/7065 , G05B19/41875 , H01L22/10 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要： 本发明涉及具有可选择像素密度的全晶片检测方法。本发明公开用于半导体晶片的全晶片检测方法。一种方法包括同时在半导体晶片的整个表面的测量部位上以最大测量部位像素密度ρmax进行选择测量参数的测量以获得测量数据，其中以最大测量部位像素密度ρmax获得的测量部位像素的总数在104与108之间。该方法亦包括定义半导体晶片的表面的多个分区，其中该多个分区中的每一者具有测量部位像素密度ρ，其中该多个分区中的至少两者具有不同尺寸的测量部位像素且因此具有不同测量部位像素密度ρ。该方法亦包括基于多分区及对应测量部位像素密度ρ而处理测量数据。该经处理测量数据可用于对用以在半导体晶片上形成器件的程序进行统计处理控制。
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公开(公告)号：CN102384716B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201110318968.5
申请日：2011-08-11
申请人： 株式会社三丰
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02048 , G01B9/02067 , G01B9/02098 , G01B11/026 , G01B2290/45 , G01B2290/60
摘要： 一种固定波长绝对距离干涉仪包括第一干涉仪和第二干涉仪，所述第一干涉仪包括：第一光源，朝测量目标发射具有波长W的第一光束；波前半径检测器，被配置成提供响应于波前半径检测器处的波前半径的第一度量；以及第一路径长度计算部分，计算粗糙分辨率绝对路径长度度量R。第二干涉仪包括：发送具有波长Λ的第二干涉仪光束的光束发送装置；光束分离/合成装置，将第二干涉仪光束分离为参考和度量光束，并合成返回的参考和测量光束为合成光束；第二干涉仪检测器，被配置为接收合成光束和提供合成光束的相位的信号；以及第二路径长度计算部分，被配置为确定中等分辨率绝对路径长度度量ZM。
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公开(公告)号：CN104457581A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410430984.7
申请日：2014-08-28
申请人： 深圳奥比中光科技有限公司
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02045 , G01B9/02094 , G01B9/02098 , G01B11/06 , G01B2290/65 , G01B2290/70 , G01H9/00
摘要： 本发明涉及全场激光测振系统技术领域，尤其涉及一种全场Z向位移测量系统。通过使用空间域相移法在传统激光剪切散斑干涉法的基础上实现动态测量，并进一步利用激光剪切散斑干涉法与多普勒干涉法的同质性和相似的测量精度，通过单点的时间域多普勒干涉法帮助激光剪切散斑干涉法实现绝对位移测量，经过这几个方面的改进，本发明所述的测量系统可以实现全场Z向位移测量，能实现高精度全场绝对值振动测量，能进行瞬态深度测量，在深度测量、三维传感，以及航空、航天的振动测量和新材料表征检测等领域的深度测量具有重要应用，在汽车开发领域、机械工业领域以及我国的装备制造业等涉及复杂结构振动优化的领域都有非常重大的应用。
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公开(公告)号：CN108760878A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810270116.5
申请日：2018-03-29
申请人： 株式会社岛津制作所
IPC分类号： G01N29/04
CPC分类号： G01B9/02096 , G01B9/02098 , G01B11/2441 , G01H9/00 , G01M7/025 , G01N21/1717 , G01N21/45 , G01N21/8806 , G01N29/00 , G01N29/043 , G01N29/045 , G01N29/2418 , G01N2021/1706 , G01N2021/8809 , G01N2201/0697 , G01N2291/263
摘要： 本发明提供能均匀地检查被检查物体的测定区域的振动测定装置，具备：对对象物体激发振动的激振部；激光源；将激光源的光照射到测定区域的一部分区域、并使照射区域在测定区域内移动的扫描部；对测定区域的各点依次照射将照明时间宽度设为了振动的周期的1/3以下的激光的照射控制部；位移测定部，其对将来自对象物体的物体光分割成两份而得的两个光束设置角度差而使它们发生干涉，对测定区域的各点测定由此得到的干涉光，测定照射区域内的接近的2点间的相对前后方向的位移；及振动状态决定部，其基于测定区域的各点的与相位同步的时刻的振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近2点间的前后方向的位移，决定测定区域整体的振动状态。
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公开(公告)号：CN106154764B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201510196999.6
申请日：2015-04-23
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
CPC分类号： G03F7/70633 , G01B9/0203 , G01B9/02098 , G01B2210/56
摘要： 一种套刻测量装置，包括：照明单元，适于产生照射光，对晶圆上形成的第一套刻标记进行照明，第一套刻标记在被照亮时产生反射光，第一套刻标记包括第一方向第一套刻标记和第二方向第一套刻标记；第一测量单元，适于接收第一方向第一套刻标记或第二方向第一套刻标记产生的反射光，使接收的反射光产生横向偏移剪切干涉形成干涉光，并接收干涉光成第一图像，并根据第一图像判断第一方向套刻或第二方向套刻是否存在偏移，以及获得套刻的偏移量；第一驱动单元，与第一测量单元连接，适于驱动第一测量单元从第一位置旋转到第二位置，使第一测量单元分别测量晶圆上第一方向第一套刻标记和第二方向第一套刻标记。本发明的装置提高了套刻测量的精度。
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公开(公告)号：CN107402215A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710329748.X
申请日：2017-05-11
申请人： 波音公司
发明人： 莫尔塔扎·萨法伊 , 金伯莉·D·梅雷迪思
CPC分类号： G01N21/45 , G01B9/02098 , G01B11/162 , G01M11/081 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/455 , G01N21/8851 , G01N2021/8848 , G01N2021/8887
摘要： 本申请公开了用于无损检测的装置、系统和方法。本文公开了一种包括腔体的用于无损检测的装置。该装置还包括输入元件，该输入元件与腔体耦合并且被配置为接收激光束并将激光束引导入腔体中。该装置另外包括形成在腔体中并且沿腔体间隔开的多个输出元件。多个输出元件中的各输出元件被配置为将激光束的一部分引导出腔体，使得自多个输出元件中的各输出元件引导出的激光束的各部分具有基本上相似的强度。
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