包括用于对耐受温度变化的粘合剂层进行控制的结构的压力传感器

    公开(公告)号:CN105705926B

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201480061385.0

    申请日:2014-10-24

    IPC分类号: G01L19/14 G01L19/04

    摘要: 本发明涉及一种压力传感器,其包括敏感元件、外壳、中间结构以及粘合剂层,该敏感元件包括安装衬底,该安装衬底包括顶面和底面,该敏感元件还包括可形变膜片,该可形变膜片被连接至所述安装衬底的顶面;该敏感元件被放置在所述外壳中,所述外壳包括基底;所述中间结构被放置在所述外壳的基底和所述安装衬底之间,所述中间结构包括基底,该基底包括顶面和底面,该底面被连接至所述外壳的基底,所述中间结构被配置成使得所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间保持预定的距离;所述粘合剂层在所述中间结构的顶面上延展。所述粘合剂层的厚度由所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间所保持的预定的距离来控制。本发明还涉及一种用于制造所述压力传感器的方法。

    包括用于对耐受温度变化的粘合剂层进行控制的结构的压力传感器

    公开(公告)号:CN105705926A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201480061385.0

    申请日:2014-10-24

    IPC分类号: G01L19/14 G01L19/04

    摘要: 本发明涉及一种压力传感器,其包括敏感元件、外壳、中间结构以及粘合剂层,该敏感元件包括安装衬底,该安装衬底包括顶面和底面,该敏感元件还包括可形变膜片,该可形变膜片被连接至所述安装衬底的顶面;该敏感元件被放置在所述外壳中,所述外壳包括基底;所述中间结构被放置在所述外壳的基底和所述安装衬底之间,所述中间结构包括基底,该基底包括顶面和底面,该底面被连接至所述外壳的基底,所述中间结构被配置成使得所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间保持预定的距离;所述粘合剂层在所述中间结构的顶面上延展。所述粘合剂层的厚度由所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间所保持的预定的距离来控制。本发明还涉及一种用于制造所述压力传感器的方法。

    压力检测设备
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1854701B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200610051540.8

    申请日:2006-02-28

    IPC分类号: G01L9/00

    摘要: 根据本发明的压力检测装置100,包括:压力检测设备110,将由施加其上的压力所导致的张力转换为电信号,并输出转换后的电信号;容纳基底120,包括将所述压力检测设备110容纳其中的容纳凹槽121;以及介于压力检测设备110和所述容纳凹槽121之间的连接材料129,所述连接材料以400%或更高的百分比抗张伸展率连接压力检测设备110和容纳凹槽121。根据本发明的压力检测装置易于防止热应力对其检测性能造成不利影响,并且获得优良的热响应。

    相对压力传感器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102472680B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201080035251.3

    申请日:2010-07-21

    IPC分类号: G01L19/06

    摘要: 一种相对压力传感器,包括:压力测量变换器11,该压力测量变换器具有半导体芯片12的测量膜和平台13,其中,在测量膜和平台二者之间形成基准压力腔;支撑主体14,其中平台借助承压粘附体9与该支撑主体相连接,其中基准压力路径延伸穿过两个前述元件进入到基准压力腔中;传感器外部主体20,在该传感器外部主体中形成变换器腔21,该变换器腔21具有第一开口和第二开口23,其中通过该第一开口将压力测量变换器11带入到变换器腔中并且借助支撑主体将所述压力测量变换器11保持在该变换器腔21中,其中支撑主体压密地密封第一开口,并且其中测量膜的背离基准压力腔的一侧通过第二开口与介质压力可接触;其中基准压力路径具有充气的密封段,该充气的密封段从基准压力腔延伸至少穿过承压粘附体9,其中密封段借助柔性镀金属塑料箔19气密地密封。