具有温度系数补偿的电阻电路

    公开(公告)号:CN104579172B

    公开(公告)日:2017-06-06

    申请号:CN201410712224.5

    申请日:2014-11-28

    发明人: 袁志勇

    IPC分类号: H03B5/04

    摘要: 本发明公开了一种具有温度系数补偿的电阻电路,包括:由第一电阻和第二电阻串联形成的第一串联电阻;由第三电阻和第四电阻串联形成的第二并联电阻;第一串联电阻和第二并联电阻相串联;第一电阻和第二电阻分别具有正负温度系数并使第一串联电阻的正负温度系数相抵消;第三电阻和第四电阻分别具有正负温度系数并使第二并联电阻的正负温度系数相抵消。本发明的第一串联电阻和第二并列电阻之间具有二次温度系数补偿的功能,能使电阻电路在任何工艺角变化组合下都保持温度系数补偿功能,在任意工艺角下都能够实现高精度电阻。

    形成薄膜电阻器的方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103714927A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201310463852.X

    申请日:2013-10-08

    IPC分类号: H01C17/12 C23C14/34

    摘要: 本发明公开了形成薄膜的方法。一种这样的方法可包括溅射靶材来形成第一薄膜电阻器和调整沉积参数以调节随后形成的第二薄膜电阻器的属性。例如,衬底偏压和/或衬底温度可被调整来调节所述第二薄膜电阻器的属性。所述第二薄膜电阻器的电阻温度系数(TCR)和/或另一属性可通过调整所述沉积参数而进行调节。溅射到所述衬底上的所述靶材可包括例如Cr合金、Ni合金、SiCr、NiCr等等。可在所述衬底偏压和/或衬底温度与所述薄膜电阻器属性之间建立关系,并且所述关系可用来选择所要属性值的沉积条件。

    具有温度系数补偿的电阻电路

    公开(公告)号:CN104579172A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410712224.5

    申请日:2014-11-28

    发明人: 袁志勇

    IPC分类号: H03B5/04

    摘要: 本发明公开了一种具有温度系数补偿的电阻电路,包括:由第一电阻和第二电阻串联形成的第一串联电阻;由第三电阻和第四电阻串联形成的第二并联电阻;第一串联电阻和第二并联电阻相串联;第一电阻和第二电阻分别具有正负温度系数并使第一串联电阻的正负温度系数相抵消;第三电阻和第四电阻分别具有正负温度系数并使第二并联电阻的正负温度系数相抵消。本发明的第一串联电阻和第二并列电阻之间具有二次温度系数补偿的功能,能使电阻电路在任何工艺角变化组合下都保持温度系数补偿功能,在任意工艺角下都能够实现高精度电阻。