金属电阻器装置的制造方法

    公开(公告)号:CN1317720C

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN02805449.0

    申请日:2002-02-22

    IPC分类号: H01C7/00

    摘要: 一种制造金属薄膜电阻器件的方法,包括利用热氧化工艺在绝缘基体上形成第一绝缘膜;在第一绝缘膜上涂覆光敏膜;利用光敏膜对第一绝缘膜构图,以形成绝缘膜图案;在绝缘膜图案和光敏膜中形成金属薄膜;在绝缘膜图案内形成金属薄膜图案;在绝缘膜图案上和金属薄膜图案上形成第二绝缘膜;将导线连接到金属薄膜图案的衬垫区;以及在导线上部和导线周边部分上形成钝化层利用构图工艺通过蚀刻绝缘膜来形成金属薄膜图案,可以克服器件退化或者寿命降低的问题,易于控制金属薄膜电阻器件的电阻值。

    可变电阻器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1100328C

    公开(公告)日:2003-01-29

    申请号:CN97121952.4

    申请日:1997-11-27

    IPC分类号: H01C10/26

    摘要: 制备一第一旋动转子和一第二旋动转子。第一旋动转子具有一电阻体和分别与该电阻体两端连接的内缘和外缘电极。第二旋动转子具有一电阻体和与第一转子相对称的内缘和外缘电极,它们设在绕第一转子轴旋转180°的相对应位置上,可变电阻器选择使用第一旋动转子和第二旋动转子中任一个。这就能提供结构部件种类少的可变电阻器,并缩减了用于引线端弯折的方法种类。