一种碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106816490A

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201710050313.1

    申请日:2017-01-23

    申请人: 中山大学

    发明人: 洪瑞江 吴兆

    IPC分类号: H01L31/032

    CPC分类号: H01L31/0323

    摘要: 本发明属于铜铟硒基薄膜太阳电池技术领域。具体公开碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜的制备方法,其具体步骤是:(1)首先,在钠钙玻璃衬底上制作氮化硅阻挡层;(2)然后,在上述衬底上沉积背接触Mo层;(3)在上述沉积的掺有碱金属元素的背接触Mo层上叠层沉积CIG金属预制层;(4)制备碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜。该制备方法对衬底材料依赖性降低、扩散可控,工序简单易于实现,且金属预制层粗糙度小、附着性好,元素混合均匀,制得薄膜结晶性好,带隙可调性强。

    一种基于柔性钼衬底的镉掺杂铜锌锡硫硒薄膜的带隙梯度的调控方法

    公开(公告)号:CN107871795A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201711143306.2

    申请日:2017-11-17

    申请人: 福州大学

    IPC分类号: H01L31/032

    CPC分类号: H01L31/0323

    摘要: 本发明涉及一种基于柔性钼衬底的镉掺杂铜锌锡硫硒薄膜带隙梯度的调控方法。首先用电沉积法清洗柔性钼箔片,然后用溶液法溶解单质及后硒化处理的方式通过叠层实现CZCTSSe薄膜带隙梯度的变化,可用于制备具有CZCTSSe带隙梯度变化的薄膜太阳电池。本发明采用柔性钼作为衬底,高纯钼箔的利用解决了薄膜与衬底间的粘附性问题,并取代了电池结构中的溅射金属导电背接触层,从而降低了制造成本;采用溶液法溶解单质制备前驱体溶液,避免了溶解金属盐时会引入杂质离子的缺点,且溶液法成本低廉、工艺简单、易于大面积生产,绿色环保,满足了大规模批量生产与商业化的需求,实用性强。