扫描热显微镜探针
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1937094A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200510037509.4

    申请日:2005-09-22

    IPC分类号: G12B21/08 G01N13/16 B81B7/02

    摘要: 本发明提供一种扫描热显微镜探针,其包括:一悬臂;一第一导电层,形成在所述悬臂表面;一绝缘层,覆在所述第一导电层表面,其具有一通孔;一第二导电层,覆在所述绝缘层表面,所述第一导电层和第二导电层在所述通孔处相连形成一热电偶区;以及一碳纳米管,其形成在所述热电偶区,该碳纳米管一端和热电偶区处的第二导电层相连,另一端为自由端。本发明提供的扫描热显微镜探针,将碳纳米管置于扫描热显微镜探针尖端,利用碳纳米管的微小尺寸及轴向导热性能,可以显著提高扫描热显微镜的空间解析度。