公开(公告)号：CN102792476B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080056192.8

申请日：2010-12-03

申请人： 保尔·萨巴梯埃-图卢兹第三大学

发明人： J-F·卡普萨尔 ,  C·戴维 ,  E·当特拉 ,  C·拉卡巴纳

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/37 ,  H01L37/02

CPC分类号： C04B35/62259 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/6263 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/526 ,  C04B2235/5264 ,  C04B2235/5284 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/6028 ,  H01L37/00 ,  H01L37/025 ,  H01L41/183 ,  H01L41/37 ,  Y10S977/783 ,  Y10S977/812 ,  Y10S977/837 ,  Y10T428/31692

摘要： 本发明涉及材料，即混合、压电和/或热电固体复合材料，其包括：固体介质基质(11)，至少一种无机压电和/或压热材料的负荷，其特征在于：所述线形纳米微粒(12)以小于50体积％的量分布在固体介电基质(11)的体积中，而且分布在介电基质(11)中的无机负荷的线形纳米微粒(12)的延长主方向在固体介电基质(11)中具有几乎各向同性的分布。本发明涉及所述混合材料的制造方法，所述混合材料用于实现结构元件和放置在支撑元件整个或部分表面上的支撑膜；通过直接压电效应在所述混合材料表面进行机械应力的检测，或通过直接热电效应在所述混合材料表面进行温度变化的检测，所述混合材料允许通过逆压电效应在柔性声音装置、除冰装置或机械防垢装置中生成静止或活动的机械波和制造隔音材料。

公开(公告)号：CN1364141A

公开(公告)日：2002-08-14

申请号：CN01800473.3

申请日：2001-03-08

申请人： 大研化学工业株式会社 ,  中山喜万

发明人： 中山喜万 ,  秋田成司 ,  原田昭雄 ,  大川隆

IPC分类号： B82B1/00

CPC分类号： B25J7/00 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/12 ,  B81B2203/0118 ,  B81C99/002 ,  B82B3/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/734 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/778 ,  Y10S977/78 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/858 ,  Y10S977/863 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/876 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/901 ,  Y10S977/962

摘要： 静电方式的纳米镊子2的特征在于:由在棱锥部6固定地凸设基端部的多个纳米管、对这些纳米管表面进行绝缘覆盖的涂覆被膜、及连接于其中2根纳米管8、9的导线10、10构成,通过在该导线间加电压,可由静电引力使上述2根纳米管的前端间自由开闭,在其间把持纳米物质。另外,如在纳米管9的表面形成压电膜32,使压电膜伸缩,可自由开闭上述纳米管的前端间,则不论是绝缘体、半导体、导电体,都可对任意的纳米物质进行处理。另外,如以静电方式自由开闭3根纳米管,则可处理球状、杆状等任意形状的纳米物质。另外,与3维驱动机构进行组合构成纳米机械手,可容易地进行纳米物质的把持、移动、放出。

公开(公告)号：CN104218146A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410354090.4

申请日：2014-05-04

申请人： 希捷科技有限公司

发明人： D·斯蒂阿迪 ,  田伟 ,  Y·P·金

IPC分类号： H01L41/09 ,  H01L41/053 ,  G11B5/40

CPC分类号： G11B5/4873 ,  B82Y30/00 ,  G11B5/483 ,  H01L41/0533 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/314 ,  H01L41/332 ,  Y10S977/837

摘要： 本申请公开了薄膜PZT结构的粘合增强。一种例如用于盘驱动器的微型致动器，包括基底，基底上的夹层结构，以及基底和夹层结构上方的钝化层。该夹层结构具有由贵金属形成的下电极，压电层，以及由贵金属形成的上电极。该微型致动器进一步具有位于下电极和钝化层之间的下粘合层以及位于上电极和钝化层之间的上粘合层中的一个或两个。即该微型致动器可仅具有下粘合层，仅具有上粘合层，或同时具有下粘合层和上粘合层。

公开(公告)号：CN1315623C

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN01800473.3

申请日：2001-03-08

申请人： 大研化学工业株式会社 ,  中山喜万

发明人： 中山喜万 ,  秋田成司 ,  原田昭雄 ,  大川隆

IPC分类号： B25J15/12 ,  B82B1/00

CPC分类号： B25J7/00 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/12 ,  B81B2203/0118 ,  B81C99/002 ,  B82B3/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/734 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/778 ,  Y10S977/78 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/858 ,  Y10S977/863 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/876 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/901 ,  Y10S977/962

摘要： 静电方式的纳米镊子2的特征在于：由在棱锥部6固定地凸设基端部的多个纳米管、对这些纳米管表面进行绝缘覆盖的涂覆被膜、及连接于其中2根纳米管8、9的导线10、10构成，通过在该导线间加电压，可由静电引力使上述2根纳米管的前端间自由开闭，在其间把持纳米物质。另外，如在纳米管9的表面形成压电膜32，使压电膜伸缩，可自由开闭上述纳米管的前端间，则不论是绝缘体、半导体、导电体，都可对任意的纳米物质进行处理。另外，如以静电方式自由开闭3根纳米管，则可处理球状、杆状等任意形状的纳米物质。另外，与3维驱动机构进行组合构成纳米机械手，可容易地进行纳米物质的把持、移动、放出。

公开(公告)号：CN1572418A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410046250.5

申请日：2004-06-04

申请人： 发那科株式会社

发明人： 泽田洁 ,  蛯原建三 ,  酒井田康宏

IPC分类号： B23Q15/14

CPC分类号： H02N2/0095 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/872

摘要： 本发明涉及一种具有机械刚性并能够实现纳米级定位精度的显微定位装置和修正工具位置和方向的方法。驱动单元包括两个布置成沿膨胀/收缩方向成一直线的压电元件P1和P2。压电元件P1面向膨胀/收缩方向的两个端部分别固定到基座件和可动件上。另一压电元件P2仅仅在一端固定到基座件上。间隙L形成在压电元件P2和可动件之间。在这里压电元件P1和P2的膨胀位移量分别是a1和a2。控制施加给压电元件P1和P2的电压，以满足等式a1+a2＝a≥L。这样，就可能将可动件以纳米级定位在最大行程a范围内的一位置上。驱动单元可布置在正交方向上，从而提供具有两个自由度、以及进一步提供包括旋转轴在内的六个自由度的定位装置。

公开(公告)号：CN102792476A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201080056192.8

申请日：2010-12-03

申请人： 保尔·萨巴梯埃-图卢兹第三大学

发明人： J-F·卡普萨尔 ,  C·戴维 ,  E·当特拉 ,  C·拉卡巴纳

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L37/00

CPC分类号： C04B35/62259 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/6263 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/526 ,  C04B2235/5264 ,  C04B2235/5284 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/6028 ,  H01L37/00 ,  H01L37/025 ,  H01L41/183 ,  H01L41/37 ,  Y10S977/783 ,  Y10S977/812 ,  Y10S977/837 ,  Y10T428/31692

摘要： 本发明涉及材料，即混合、压电和/或热电固体复合材料，其包括：固体介质基质(11)，至少一种无机压电和/或压热材料的负荷，其特征在于：所述线形纳米微粒(12)以小于50体积％的量分布在固体介电基质(11)的体积中，而且分布在介电基质(11)中的无机负荷的线形纳米微粒(12)的延长主方向在固体介电基质(11)中具有几乎各向同性的分布。本发明涉及所述混合材料的制造方法，所述混合材料用于实现结构元件和放置在支撑元件整个或部分表面上的支撑膜；通过直接压电效应在所述混合材料表面进行机械应力的检测，或通过直接热电效应在所述混合材料表面进行温度变化的检测，所述混合材料允许通过逆压电效应在柔性声音装置、除冰装置或机械防垢装置中生成静止或活动的机械波和制造隔音材料。

公开(公告)号：CN1750380B

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN200510103951.2

申请日：2005-09-16

申请人： 株式会社东芝

发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  阿部和秀 ,  西垣亨彦

IPC分类号： H02N2/02

CPC分类号： H01H57/00 ,  H01G5/18 ,  H01G5/38 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0946 ,  H01L41/0953 ,  Y10S977/837

摘要： 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。

公开(公告)号：CN1293988C

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200410046250.5

申请日：2004-06-04

申请人： 发那科株式会社

发明人： 泽田洁 ,  蛯原建三 ,  酒井田康宏

IPC分类号： B23Q15/14

CPC分类号： H02N2/0095 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/872

摘要： 本发明涉及一种具有机械刚性并能够实现纳米级定位精度的显微定位装置和修正工具位置和方向的方法。驱动单元包括两个布置成沿膨胀/收缩方向成一直线的压电元件P1和P2。压电元件P1面向膨胀/收缩方向的两个端部分别固定到基座件和可动件上。另一压电元件P2仅仅在一端固定到基座件上。间隙L形成在压电元件P2和可动件之间。在这里压电元件P1和P2的膨胀位移量分别是a1和a2。控制施加给压电元件P1和P2的电压，以满足等式a1+a2＝a≥L。这样，就可能将可动件以纳米级定位在最大行程a范围内的一位置上。驱动单元可布置在正交方向上，从而提供具有两个自由度、以及进一步提供包括旋转轴在内的六个自由度的定位装置。

公开(公告)号：CN1750380A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200510103951.2

申请日：2005-09-16

申请人： 株式会社东芝

发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  阿部和秀 ,  西垣亨彦

IPC分类号： H02N2/02

CPC分类号： H01H57/00 ,  H01G5/18 ,  H01G5/38 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0946 ,  H01L41/0953 ,  Y10S977/837

摘要： 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。