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公开(公告)号：CN118645447A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410271859.X
申请日：2024-03-11
申请人： 普列湿有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/02 , F26B11/18 , F26B25/00 , F26B25/18 , F26B21/14 , B08B3/02
摘要： 本发明的晶圆干燥装置包括：腔室，侧面固定有第一旋转轴，上部形成有能够移动的第二旋转轴，且下部形成有第一排水口；倾斜臂，以连动的方式固定于上述第一旋转轴和上述第二旋转轴，并且下端部固定有安装至少2个晶圆的晶圆盒；第一喷嘴，在上述腔室内向上述晶圆盒供应IPA/氮气；螺杆，与上述第二旋转轴连接，以使上述第二旋转轴向第一方向或第二方向直线移动的方式沿顺时针方向或逆时针方向交替旋转；驱动电机，使上述螺杆旋转；以及升降部，使上述倾斜臂上升或下降来调节上述晶圆盒的高度，上述倾斜臂可以根据随着上述螺杆的移动而变化的上述第二旋转轴的移动距离和方向而与上述晶圆盒一起改变倾斜的角度和方向。
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公开(公告)号：CN118640646A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410836318.7
申请日：2024-06-26
申请人： 福建永荣锦江股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种民用锦纶66切片干燥系统及干燥方法，包括储料仓、置换仓、输送仓、混料仓、除氧装置、真空泵、风机A、进料仓、干燥塔、水分测定仪、出料仓；所述干燥塔连接有氮气循环再生模块；储料仓与置换仓通过储料出料管连通，储料仓另一端与混料仓通过置换出料管连通，置换仓另一端通过置换出料管与输送仓连通，输送仓另一端通过输送出料管与风机A连通，风机A与进料仓通过进料仓进料管连通，进料仓通过进料仓出料管与干燥塔连通，进料仓进料管与混料仓通过混料进料管连通，干燥塔与水分测定仪连接，干燥塔与出料仓通过干燥出料管连通；本发明能够对民用丝进行烘干冷却，实现产业化连续性生产。
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公开(公告)号：CN118558660A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410620399.7
申请日：2020-10-23
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 本发明公开了掩模组件的清洁装置和掩模组件的清洁方法。掩模组件的清洁装置包括有机溶剂清洁部、第一超纯水清洁部、电解质清洁部、第二超纯水清洁部和等离子体供给部，其中，所述有机溶剂清洁部用有机溶剂对掩模组件的异物进行清洁，所述第一超纯水清洁部用超纯水对在所述有机溶剂清洁部中清洁的所述掩模组件进行清洁，所述电解质清洁部用电解质对在所述第一超纯水清洁部中清洁的所述掩模组件进行清洁，所述第二超纯水清洁部用超纯水对在所述电解质清洁部中清洁的所述掩模组件进行清洁，并且所述等离子体供给部用等离子气体对用超纯水清洁的所述掩模组件进行干燥并且用等离子气体去除所述掩模组件的异物。
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公开(公告)号：CN118513339A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410702256.0
申请日：2024-06-02
申请人： 山东汉芯科技有限公司
IPC分类号： B08B11/00 , F26B11/18 , F26B21/00 , F26B21/14 , F26B25/18 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , B08B11/02 , B08B3/04 , B08B3/10 , B08B3/02 , B08B13/00
摘要： 本发明涉及晶圆干燥领域，具体是涉及一种晶圆密闭干燥装置，包括安装架和设置在安装架上的U形方管，U形方管内部设置有用于容纳同步带的U形容纳槽，水平板上设置有用于驱动同步带转动的调节机构，同步带上设置有多个对晶圆进行固定的固定机构，每组固定机构均包括固定环和同轴设置在固定环内的转动环，转动环内部沿轴线方向径向设置有多个卡爪，转动环一端沿轴线方向铰接有多个扇形叶片；U形方管上设置有用于向U形方管内部输送气体的送气机构，U形方管一端还设置有封堵机构；本申请能够使晶圆在相对密闭的环境下与往返晃动的清洗液接触，并通过送气机构对晶圆进行烘干，从而确保晶圆干燥效率，避免晶圆二次污染。
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公开(公告)号：CN118310291B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410737316.2
申请日：2024-06-07
申请人： 新乡市长城机械有限公司
摘要： 利用石灰窑尾气烘干矿渣的处理系统及其使用方法，包括石灰窑生产线、矿渣生产线和热泵机构，所述石灰窑生产线中的石灰窑风机通过送风管道连接矿渣生产线中的立磨，所述送风管道上设有保温集热机构，热泵机构通过第一采集管道连接保温集热机构。本发明所提供的利用石灰窑尾气烘干矿渣的处理系统及其使用方法，利用石灰窑生产线的尾气的热能资源来烘干矿渣物料，实现热能资源直接利用；石灰窑尾气利用矿粉生产线的除尘器净化后，由系统风机排入烟囱，省去石灰窑生产线尾气的除尘排放设备，其中一部分热气通过循环风管再次利用。
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公开(公告)号：CN117948617B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410133921.9
申请日：2024-01-31
申请人： 甘南藏族自治州能源研究所 , 兰州华能生态能源科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种生物质燃料炉；该生物质燃料炉包括架体、炉胆、拼装式燃烧盆、烟气换热机构和供料机构。其中，炉胆固定在架体内部；拼装式燃烧盆包括供气环、供气管、与供气环拼装组成盆体结构的翻料炉箅装置、与翻料炉箅装置连接的驱动机构；烟气换热机构包括与排烟管排、与排烟管排连接的排烟风机、与排烟管排进行换热配合的主换热机构、连接在炉胆和排烟管排之间的加热除湿机构；供料机构包括料仓、设在料仓下端的碎料排料机构、设在碎料排料机构下端的干燥筒、设在干燥筒下端的螺旋输送机；加热除湿机构作用在干燥筒外侧。本发明改进生物质燃料炉的进料系统和燃烧盆的结构，提升了物料的燃烧效率，利于在高海拔或缺氧地区进行应用。
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公开(公告)号：CN118361919A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410630367.5
申请日：2024-05-21
申请人： 华东理工大学
摘要： 本发明公开了一种超临界CO2介质中晶圆干燥及智能参数优化系统，采用具有粘度低、传递性好、零表面张力且绿色环保的超临界CO2体系对晶圆表面进行干燥处理，能够解决晶圆表面线条间、深沟槽或通孔中毛细管力过大、水去除不完全等问题。本发明将超临界CO2与干燥助剂预先充分混合形成超临界CO2体系，一起通入装有晶圆的干燥腔内。通过调节干燥腔内温度、压力、转速、助剂添加量及种类对晶圆表面进行高效无水干燥，无需对晶圆反复干燥，与晶圆兼容性好，且容易回收和循环利用，有利于晶圆干燥良率的提高；快速量化晶圆表面水分脱除效果和干燥助剂的残余量，通过建立超临界晶圆干燥工艺参数和干燥效果之间的关系，优化干燥过程。
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公开(公告)号：CN118293673A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410013666.4
申请日：2024-01-04
申请人： 维斯有限公司
摘要： 本发明涉及一种通过CO2封存对木材进行热干燥的设备，该设备具有至少一个CO2气氛下的干燥模块(C1)，该干燥模块包括：干燥室(1)、CO2供应装置(3)、加热装置(2)、气体循环装置(4)、CO2回收装置(600)、计量装置(5)、CO2供应装置(3)、以及信息操控系统(6)，其特征在于，气体循环装置(4)包括逆流模块，逆流模块被配置为允许CO2沿形成CO2气体混合物的闭环循环管道的第一循环方向循环，并且沿与第一方向相反的第二循环方向循环，从而使干燥室(1)内的热量分布均匀。
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公开(公告)号：CN118208929A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410522666.7
申请日：2024-04-28
申请人： 武汉轻工大学
摘要： 本发明属于黑水虻烘干领域，公开了一种脱氧空气阶梯式快速真空干燥系统和方法。所述系统包括真空烘箱、冷凝尾气回收器、水喷射真空泵、过滤器、脱氧空气压缩器、脱氧空气储罐和加热器。本发明具有快速干燥鲜湿物料、抑制物料氧化和颜色加深、尾气等腥臭气味物质可以回收、脱氧空气可以循环使用等功能。
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公开(公告)号：CN118190586A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410259130.0
申请日：2024-03-07
申请人： 中海油能源发展股份有限公司
IPC分类号： G01N1/44 , F26B9/06 , F26B21/00 , F26B25/00 , F26B21/10 , F26B25/12 , F26B21/08 , F26B21/14 , B01D53/26
摘要： 本发明公开了一种通氮煤岩干燥箱。包括：箱体右部设有电热干燥箱；循环气泵设置在所述箱体左部，并与所述电热干燥箱连接；冷凝管，其设置在所述箱体的后端面上，所述冷凝管的进口端与所述循环气泵连接；干燥管，其设置在所述冷凝管的一侧，所述干燥管的进口端与所述冷凝管的出口端连接，所述干燥管的出口端与电热干燥箱连接；气体取样泵，其设置在所述循环气泵的上方；氧含量传感器，其与所述气体取样泵连接；湿度传感器，其设置在所述氧含量传感器的一侧。本发明的有益效果是：能够在干燥煤岩的过程中通入氮气防止煤岩氧化。
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